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Microsystem Technologies
Erschienen in: Microsystem Technologies 2/1997

01.02.1997 | Technical papers

Microfactories; new applications of micromachine technology to the manufacture of small products

verfasst von: N. Kawahara, T. Suto, T. Hirano, Y. Ishikawa, T. Kitahara, N. Ooyama, T. Ataka

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 2/1997

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Metadaten
Titel
Microfactories; new applications of micromachine technology to the manufacture of small products
verfasst von
N. Kawahara
T. Suto
T. Hirano
Y. Ishikawa
T. Kitahara
N. Ooyama
T. Ataka
Publikationsdatum
01.02.1997
Verlag
Springer-Verlag
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 2/1997
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s005420050052

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