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Journal of Materials Science: Materials in Electronics
Erschienen in: Journal of Materials Science: Materials in Electronics 13/2017

17.03.2017

High B value Mn-Co-Ni spinel films on alumina substrate by RF sputtering

verfasst von: Qin Shi, Wei Ren, Wenwen Kong, Bo Gao, Lei Wang, Chao Ma, Aimin Chang, Liang Bian

Erschienen in: Journal of Materials Science: Materials in Electronics | Ausgabe 13/2017

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Abstract

A series of Mn–Co–Ni–O spinel oxide films showing negative temperature coefficient were successfully deposited on alumina ceramic substrates by RF sputtering procedure. All films showed a poly-crystalline spinel structure. For an Ar:O2 ratio of 10:0, the deposited film showed the highest grow rate and a two-layer-structured Mn–Co–Ni–O spinel film was formed. The high performance of the MCN thin film is testified by a room temperature resistance of 4.16 MΩ, a B value of 5999 K and activation energy of 0.52 eV. These improvements are meaningful, especially concerning industrial applications.
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Metadaten
Titel
High B value Mn-Co-Ni spinel films on alumina substrate by RF sputtering
verfasst von
Qin Shi
Wei Ren
Wenwen Kong
Bo Gao
Lei Wang
Chao Ma
Aimin Chang
Liang Bian
Publikationsdatum
17.03.2017
Verlag
Springer US
Erschienen in
Journal of Materials Science: Materials in Electronics / Ausgabe 13/2017
Print ISSN: 0957-4522
Elektronische ISSN: 1573-482X
DOI
https://doi.org/10.1007/s10854-017-6742-8

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