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Tribology Letters
Erschienen in: Tribology Letters 1/2002

01.01.2002

Lubrication of Microelectromechanical Systems (MEMS) Using Bound and Mobile Phases of Fomblin Zdol®

verfasst von: Kalathil C. Eapen, Steven T. Patton, Jeffrey S. Zabinski

Erschienen in: Tribology Letters | Ausgabe 1/2002

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Metadaten
Titel
Lubrication of Microelectromechanical Systems (MEMS) Using Bound and Mobile Phases of Fomblin Zdol®
verfasst von
Kalathil C. Eapen
Steven T. Patton
Jeffrey S. Zabinski
Publikationsdatum
01.01.2002
Verlag
Kluwer Academic Publishers-Plenum Publishers
Erschienen in
Tribology Letters / Ausgabe 1/2002
Print ISSN: 1023-8883
Elektronische ISSN: 1573-2711
DOI
https://doi.org/10.1023/A:1013971321480

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