Meß- und Auswerte-System (MAUS) und dessen Einsatz zur Bestimmung von Modellparametern zur Simulation mit dem Netzwerkanalyseprogramm SPICE

Die Entwicklung integrierter Schaltungen ist bei der zunehmenden Komplexität ohne eine Simulation von Teilschaltungen und Schaltungsgruppen nicht mehr denkbar. Simulationsprogramme für unterschiedliche Zielsetzungen, ausgerüstet mit verschiedenen Modellen zur Beschreibung von Schaltungskomponenten, insbesondere der Transistoren, sind allgemein verfügbar. Diese Modelle weisen zum Teil stark prozeßspezifische Parameter auf, die meist mit Literaturwerten vorbesetzt sind. Für eine möglichst realistische Aussage der Simulationsrechnung müssen jedoch zutreffendere Größen eingesetzt werden. Insbesondere bei analytischen, näherungsweisen Modellen, wie sie z. B. im Netzwerkanalyseprogramm SPICE vorliegen, und welche auch Effekte höherer Ordnung berücksichtigen, sind die entsprechenden Parameter nur sehr unzulänglich bekannt und sehr von der Prozeßführung abhängig. Daraus ergibt sich für den Anwender eines derartigen Programmes die Notwendigkeit, die aktuellen Parameter aus entsprechenden Messungen selbst zu erarbeiten. Zu diesem Zweck wurde im ENTWICKLUNGSZENTRUM INTEGRIERTE SCHALTUNGEN in Ulm das Meß- und Auswertesystem MAUS entwickelt, welches darüber hinaus auch zur Wareneingangskontrolle für prozessierte Wafer, zur Prozeßkontrolle und zur Fehleranalyse an integrierten Schaltungen eingesetzt werden kann.