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Erschienen in:
1981 | OriginalPaper | Buchkapitel
Methoden der Einkristall-Herstellung
verfasst von : Dr. rer. nat. W. Harth
Erschienen in: Halbleitertechnologie
Verlag: Vieweg+Teubner Verlag
Enthalten in: Professional Book Archive
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Mitunter ist es bereits bei der Höchstreinigung der Halbleitermaterialien (Abschnitt 2) möglich, Halbleitereinkristalle von so hoher Kristallqualität herzustellen, wie sie für die Bauelementfertigung erforderlich ist. In diesem Abschnitt werden die drei wichtigsten Methoden der Einkristallzüchtung beschrieben, nämlich Wachstum aus der SchmelzeWachstum aus der LösungWachstum aus der Gasphase wobei insbesondere bei den beiden letztgenannten Methoden auf die für die Halbleiter-Technologie wichtig gewordene Epitaxie eingegangen wird.