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Erschienen in:
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2010 | OriginalPaper | Buchkapitel

Mikrotechnik und die Tribologie von MEMS

verfasst von : Horst Czichos, Karl-Heinz Habig

Erschienen in: Tribologie-Handbuch

Verlag: Vieweg+Teubner

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Die heutige Technik ist durch

Mechatronik

, d. h. das interdisziplinäre Zusammenwirken von Mechanik, Elektronik, Informatik und einen stetigen Trend zur Miniaturisierung gekennzeichnet. Die

Mikrotechnik

nutzt Effekte, die erst durch Miniaturisierung möglich werden – z. B. geringere thermische Trägheit, veränderte Volumen/Oberflächen-Relationen – und vereint mit Bauteilabmessungen im mm/μm-Bereich Funktionalitäten aus Mikromechanik, Mikrofluidik, Mikroelektronik, Mikromagnetik, Mikrooptik. MEMS sind mikro-elektro-mechanische Systeme (

Micro Electro-Mechanical Systems

) für Bewegungsfunktionen. Da ihre miniaturisierten Bauteile tribologischen Beanspruchungen ausgesetzt sein können, ist die Tribologie von MEMS wichtig für ihre Funktionalität.

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Metadaten
Titel
Mikrotechnik und die Tribologie von MEMS
verfasst von
Horst Czichos
Karl-Heinz Habig
Copyright-Jahr
2010
Verlag
Vieweg+Teubner
Buch
Tribologie-Handbuch

Print ISBN: 978-3-8348-0017-6

Electronic ISBN: 978-3-8348-9660-5

Copyright-Jahr: 2010

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-8348-9660-5_13

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