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Erschienen in:

01.08.2012

Modulation interference microscope as a tool for measuring the linear dimensions of nanostructures

verfasst von: A. G. Andreev, S. N. Grigoriev, E. V. Romash, S. V. Bushuev, P. S. Ignatiev, A. V. Loparev, K. V. Indukaev, P. A. Osipov

Erschienen in: Measurement Techniques | Ausgabe 5/2012

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Abstract

A new version of a modulation interference microscope with long-path coordinate table resting on aeromagnetic guides that enables travel of the microscope with deviation from linearity of at most 0.1 μm on path lengths up to 300 mm has been developed. The metrological aspects of the use of the microscope for measurement of the linear dimensions of nanostructures are considered. Results of measurements of the basic parameters of the topology of integrated circuits are presented.

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S. N. Grigoriev et al., “Determining the effective fractal dimension of nanodimensional coatings with the aid of magnetic field,” Techn. Phys. Lett., 37, No. 12, 1176–1178 (2011).CrossRef

S. N. Grigoriev and V. I. Teleshevskii, “Measurement problems in technological shaping processes,” Izmer. Tekhn., No. 7, 3–7 (2011); Measur. Techn., 54, No. 7, 744–749 (2011).

ISO 5436-1:2000, Geometric Characteristics of Articles. Surface Texture: Profile Method, Standards.

J. Liu et al., “Phase-shift resolving confocal microscopy with high axial resolution, wide range and reflectance disturbance resistibility,” Opt. Express, 17, No.18, 16281–16290 (2009).ADSCrossRef

V. P. Tychinskii, “Dynamic phase microscopy: is a “dialogue” with the cell possible?” Usp. Fiz. Nauk, 177, 535–552 (2007).CrossRef

G. N. Vishnyakov et al., “Examining a transparent object with a linnik tomographic microscope,” Izmer. Tekhn., No. 1, 46–49 (1999); Measur. Techn., 42, No. 1, 66–70 (1999).

V. A. Andreev and K. V. Indukaev, “The problem of subrayleigh resolution in interference microscopy,” J. Russ. Laser Res., 24, No. 3, 220–225 (2003).CrossRef

A. V. Loparev et al., “A high-speed modulation interference microscope for biomedical studies,” Izmer. Tekhn., No. 1, 60–64 (2009); Measur. Techn., 42, No. 1, 66–70 (2009).

P. S. Ignatiev, A. V. Loparev, and A. Korshak, “Laser 3D MIM profilometers,” Fotonika, No. 4, 54–56 (2010).

10.

V. I. Teleshevskii and S. G. Grishin, “A heterodyne laser interferometer with digital phase conversion,” Izmer. Tekhn., No. 6, 13–18 (2006); Measur. Techn., 49, No. 6, 545–551 (2006).

11.

Yu. A. Maksin, V. I. Teleshevskii, and P. V. Temnikov, “System for computer aided design and fabrication of means of linear-angle measurement based on three-dimensional parametric modeling,” Izmer. Tekhn., No. 8, 13–16 (2011); Measur. Techn., 54, No. 8, 869–873 (2011).

Titel: Modulation interference microscope as a tool for measuring the linear dimensions of nanostructures
verfasst von: A. G. Andreev
S. N. Grigoriev
E. V. Romash
S. V. Bushuev
P. S. Ignatiev
A. V. Loparev
K. V. Indukaev
P. A. Osipov
Publikationsdatum: 01.08.2012
Verlag: Springer US
Erschienen in: Measurement Techniques / Ausgabe 5/2012
Print ISSN: 0543-1972
Elektronische ISSN: 1573-8906
DOI: https://doi.org/10.1007/s11018-012-9996-9

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