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Erschienen in: Measurement Techniques 1/2016

29.04.2016 | RADIO MEASUREMENTS

New Algorithm for Modeling the Video Signal of a Scanning Electron Microscope

verfasst von: L. G. Gagarina, A. V. Nikitin

Erschienen in: Measurement Techniques | Ausgabe 1/2016

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Abstract

We present the fundamentals of the physical processes of forming the video signal in a scanning electron microscope. We have produced a new library algorithm for video modeling. Testing of the algorithm has shown its reasonable accuracy, detailed correspondence with video signal simulations of their experimental counterparts. Computation for a model signal of 500 points takes less than 1 second, which is many thousands of times faster than using the Monte Carlo method.

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Literatur
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Zurück zum Zitat A. V. Nikitin, “The use of mathematical modeling for nanoscale measurements in microelectronics,” Izmer. Tekhn., No. 12, 25–29 (2011). A. V. Nikitin, “The use of mathematical modeling for nanoscale measurements in microelectronics,” Izmer. Tekhn., No. 12, 25–29 (2011).
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Zurück zum Zitat A. V. Nikitin, “Problems in measuring the size of microelectronic technology,” Izmer. Tekhn., No. 8, 15–20 (2012). A. V. Nikitin, “Problems in measuring the size of microelectronic technology,” Izmer. Tekhn., No. 8, 15–20 (2012).
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Zurück zum Zitat N. S. Bakhvalov, N. P. Zhidkov and G. M. Kobelkov, Numerical Methods, Binom, Moscow (2011). N. S. Bakhvalov, N. P. Zhidkov and G. M. Kobelkov, Numerical Methods, Binom, Moscow (2011).
Metadaten
Titel
New Algorithm for Modeling the Video Signal of a Scanning Electron Microscope
verfasst von
L. G. Gagarina
A. V. Nikitin
Publikationsdatum
29.04.2016
Verlag
Springer US
Erschienen in
Measurement Techniques / Ausgabe 1/2016
Print ISSN: 0543-1972
Elektronische ISSN: 1573-8906
DOI
https://doi.org/10.1007/s11018-016-0923-3

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