2021 | OriginalPaper | Buchkapitel
Numerical Study of the Effect of Applied Voltage on Simultaneous Modes of Electron Heating in RF Capacitive Discharges
verfasst von : Abdelhak Missaoui, Morad Elkaouini, Hassan Chatei
Erschienen in: Proceedings of the 2nd International Conference on Electronic Engineering and Renewable Energy Systems
Verlag: Springer Singapore
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