28.08.2021 | Original Article
Packaging effects on the sensing performance of RTDs on an AlN substrate of a wafer heater
Erschienen in: Journal of Mechanical Science and Technology | Ausgabe 9/2021
EinloggenAktivieren Sie unsere intelligente Suche, um passende Fachinhalte oder Patente zu finden.
Wählen Sie Textabschnitte aus um mit Künstlicher Intelligenz passenden Patente zu finden. powered by
Markieren Sie Textabschnitte, um KI-gestützt weitere passende Inhalte zu finden. powered by