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Optical and Quantum Electronics

Erschienen in:

01.11.2019

Physical similarity of the processes of laser thermochemical recording on thin metal films and modeling the recording of submicron structures

verfasst von: V. P. Veiko, Q. D. Nguyen, E. A. Shakhno, D. A. Sinev, E. V. Lebedeva

Erschienen in: Optical and Quantum Electronics | Ausgabe 11/2019

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Abstract

Laser thermochemical recording is a flexible method for direct writing the binary planar structures (for instance, diffractive optical elements) by a local laser-induced oxidation of thin metal films. Unfortunately, due to excess of influencing parameters, search for regimes of high-resoluted recording could be complicated. The presented article proposes the way to analyze the hard-to-reach regimes of laser recording by modeling them with more convenient regimes (with different geometric and/or thermochemical parameters) based on their physical similarity.

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Titel: Physical similarity of the processes of laser thermochemical recording on thin metal films and modeling the recording of submicron structures
verfasst von: V. P. Veiko
Q. D. Nguyen
E. A. Shakhno
D. A. Sinev
E. V. Lebedeva
Publikationsdatum: 01.11.2019
Verlag: Springer US
Erschienen in: Optical and Quantum Electronics / Ausgabe 11/2019
Print ISSN: 0306-8919
Elektronische ISSN: 1572-817X
DOI: https://doi.org/10.1007/s11082-019-2073-8

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