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Erschienen in:

Open Access 16.06.2017 | Research Article

Preparation of Ag₂O modified silica abrasives and their chemical mechanical polishing performances on sapphire

verfasst von: Baichun Zhang, Hong Lei, Yi Chen

Erschienen in: Friction | Ausgabe 4/2017

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Titel: Preparation of Ag2O modified silica abrasives and their chemical mechanical polishing performances on sapphire
verfasst von: Baichun Zhang
Hong Lei
Yi Chen
Publikationsdatum: 16.06.2017
Verlag: Tsinghua University Press
Erschienen in: Friction / Ausgabe 4/2017
Print ISSN: 2223-7690
Elektronische ISSN: 2223-7704
DOI: https://doi.org/10.1007/s40544-017-0156-8

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