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2015 | OriginalPaper | Buchkapitel

4. Scattering from Surfaces and Thin Films

verfasst von : Hans Lüth

Erschienen in: Solid Surfaces, Interfaces and Thin Films

Verlag: Springer International Publishing

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Abstract

The kinematic and the dynamic scattering theory for surfaces and thin films are presented. Elastic scattering is treated in the context of low energy electron diffraction (LEED) and reflection high energy electron reflection (RHEED). Inelastic scattering of electrons is described in the context of electron energy loss (EELS) and high-resolution electron energy loss spectroscopy (HREELS). Its approximate theoretical description by dielectric theory is also supplied. As important standard characterisation techniques for thin films and multilayer systems X-ray diffraction (XRD) and ion scattering, in particular Rutherford backscattering (RBS), are described together with instructive experimental examples.

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Metadaten
Titel
Scattering from Surfaces and Thin Films
verfasst von
Hans Lüth
Copyright-Jahr
2015
Buch
Solid Surfaces, Interfaces and Thin Films

Print ISBN: 978-3-319-10755-4

Electronic ISBN: 978-3-319-10756-1

Copyright-Jahr: 2015

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-319-10756-1_4