nach oben

Erschienen in:

2014 | OriginalPaper | Buchkapitel

10. Sensor Design

verfasst von : Jacqueline Rausch, Thorsten A. Kern, Christian Hatzfeld

Erschienen in: Engineering Haptic Devices

Verlag: Springer London

Einloggen

Aktivieren Sie unsere intelligente Suche, um passende Fachinhalte oder Patente zu finden.

search-config

KI-gestützte Suche

Aus

Abstract

Multiple sensors are applied in haptic devices designs. Even if they are not closed-loop controlled in a narrow sense of force or torque generation, they are used to detect movement ranges and limits or the detection of the presence of a user and its type of interaction with an object or human–machine interface (HMI). Almost any type of technical sensor had been applied in the context of haptic devices. Especially, the emerging market of gesture-based user interaction and integration of haptics due to ergonomic reasons extends the range of sensors potentially relevant for haptic devices. This chapter gives an introduction in technologies and design principles for force/torque sensors and addresses common types of positioning, velocity, and acceleration sensors. Further, sensors for touch and imaging sensors are addressed briefly in this section.

Sie haben noch keine Lizenz? Dann Informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft+Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

über 102.000 Bücher
über 537 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

Automobil + Motoren
Bauwesen + Immobilien
Business IT + Informatik
Elektrotechnik + Elektronik
Energie + Nachhaltigkeit
Finance + Banking
Management + Führung
Marketing + Vertrieb
Maschinenbau + Werkstoffe
Versicherung + Risiko

Jetzt Wissensvorsprung sichern!

Jetzt informieren

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

über 67.000 Bücher
über 390 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

Automobil + Motoren
Bauwesen + Immobilien
Business IT + Informatik
Elektrotechnik + Elektronik
Energie + Nachhaltigkeit
Maschinenbau + Werkstoffe

Jetzt Wissensvorsprung sichern!

Jetzt informieren

Springer Professional "Wirtschaft"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft" erhalten Sie Zugriff auf:

über 67.000 Bücher
über 340 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

Bauwesen + Immobilien
Business IT + Informatik
Finance + Banking
Management + Führung
Marketing + Vertrieb
Versicherung + Risiko

Jetzt Wissensvorsprung sichern!

Jetzt informieren

Vorheriges Kapitel Actuator Design

Nächstes Kapitel Interface Design

For substrate material mainly (layer-) ceramics are used. Less frequent is the use of metals, as isolating layers have to be provided then.

Also single semiconducting elements without organic substrate are available. They are highly miniaturized (width of about \(230\,\upmu \text {m}\), length of about \(400\,\upmu \text {m}\)), but has to be insulated from the deformation element.

Face centered cubic.

By isolating arrays instead of single sensors in the last processing step.

The force can be calculated taking the contact area into account.

Due to the small electrodes a small basic capacitance is achieved, comp. equation in Fig. 10.20.

With respect to “force” component.

In vacuum it is equal to speed of light \(c_0 = 2.99792458\times 10^8\)m/s.

Both versions are possible: Measuring the transmitted and the reflected radiation.

This crystal is especially applicable for high temperature requirements.

A semiconducting material.

The examples presented here are discussed either for translatory and rotatory applications. But all principles may be applied to both, as a translation is just a rotation on a circle with infinite diameter.

Amor A, Budde T, Gatzen H (2006) A magnetoelastic microtransformer-based microstrain gauge. Sens Actuators A Phys 129(1–2):41–44. doi:10.1016/j.sna.2005.09.043 CrossRef

Arshak K, McDonagh D, Durcan M (2000) Development of new capacitive strain sensors based on thick film polymer and cermet technologies. Sens Actuat A Phys 79(2):102–114. doi:10.1016/S0924-4247(99)00275-7

Arshak K et al (2006) Development of high sensitivity oxide based strain gauges and pressure sensors. J Mater Sci Mater Electron 17(9):767–778. doi:10.1007/s10854-006-0013-4 CrossRef

Ballas R (2007) Piezoelectric multilayer beam bending actuators: static and dynamic behavior and aspects of sensor integration. Springer, Berlin, pp XIV, 358. ISBN: 978-3-540-32641-0

Bao M-H (2004) Micro mechanical transducers: pressure sensors, accelerometers and gyroscopes, vol 8, 2nd edn. Handbook of sensors and actuators 8. Elsevier, Amsterdam, pp XIV, 378. ISBN: 9780080524030

Barlian A et al (2009) Review: semiconductor piezoresistance for microsystems. Proc IEEE 97(3):513–552. doi:10.1109/JPROC.2009.2013612 CrossRef

Berkelman P et al (2003) A miniature microsurgical instrument tip force sensor for enhanced force feedback during robot-assisted manipulation. IEEE Trans Rob Autom 19(5):917–921. doi:10.1109/TRA.2003.817526

Beyeler F et al (2007) Design and calibration of a MEMS sensor for measuring the force and torque acting on a magnetic microrobot. J Micromech Microeng IOP 18:025004 (2007). doi:10.1088/0960-1317/18/2/025004

Botsis J et al (2004) Embedded fiber Bragg grating sensor for internal strain measurements in polymeric materials. Opt Lasers Eng 43. doi:10.1016/j.optlaseng.2004.04.009

10.

Brand U, Büttgenbach S (2002) Taktile dimensionelle Messtechnik für Komponenten der Mikrosystemtechnik. In: tm-Technisches Messen/Plattform für Methoden. Systeme und Anwendungen der Messtechnik 12. doi:10.1524/teme.2002.69.12.542

11.

Bray A, Barbato G, Levi R (1990) Theory and practice of force measurement. Monographs in physical measurement. Academic Press Inc., Waltham. ISBN: 978-0121284534

12.

Burdea GC (1996) Force and touch feedback for virtual reality. Wiley-Interscience, New York

13.

Caldwell DG, Lawther S, Wardle A (1996) Multi-modal cutaneous tactile feedback. In: Proceedings of the IEEE international conference on intelligent robots and systems. Diss, pp 465–472. doi:10.1109/IROS.1996.570820

14.

Calvert P et al (2007) Piezoresistive sensors for smart textiles. Electroact Polym Actuators Devices (EAPAD) 2007:65241i-8. doi:10.1117/12.715740

15.

Chase T, Luo R (1995) A thin-film flexible capacitive tactile normal/shear force array sensor. In: Proceedings of the 1995 IEEE IECON 21st international conference on industrial electronics, control, and instrumentation, vol 2. Orlando, FL, pp 1196–1201. doi:10.1109/IECON.1995.483967

16.

Cochrane C et al (2007) Design and development of a flexible strain sensor for textile structures based on a conductive polymer composite. Sensors 7(4):473–492. doi:10.3390/s7040473 CrossRef

17.

Colgate J, Brown J (1994) Factors affecting the Z-Width of a haptic display. In: Proceedings of IEEE international conference on robotics and automation, vol 4, pp 3205–3210. doi:10.1109/ROBOT.1994.351077

18.

Cranny A et al (2005) Thick-film force, slip and temperature sensors for a prosthetic hand. Measur Sci Technol IOP 16:931–941. doi:10.1016/j.sna.2005.02.015 CrossRef

19.

Dahiya RS, Valle M (2013) Robotic Tactile Sensing. Springer, Berlin. doi:10.1007/978-94-007-0579-1

20.

Kurtz AD (1962) Adjusting crystal characteristics to minimaze temperature dependency. In: Dean M, Douglas RD (eds) Semiconductor and conventional strain gages. Academic Press Inc. New York, ISBN: 978-1114789906

21.

Dölle M (2006) Field effect transistor based CMOS stress sensors. PhD thesis. IMTEK, University of Freiburg. ISBN: 978-3899594584

22.

Ferdinand P et al (1997) Applications of bragg grating sensors in Europe. In: International conference on optical fiber sensors OFS. Wiliamsburg, Virginia. ISBN: 1-55752-485-8

23.

First Sensor Technology GmbH (2009) T-Brücke. Technical report. First Sensor Technology GmbH. http://www.first-sensor.com/

24.

Fung Y-C (1993) Biomechanics: mechanical properties of living tissues, 2nd edn. Springer, New York, pp XVIII, 568. ISBN: 0-387-97947-6; 3-540-97947-6

25.

Gall M, Thielicke B, Poizat C (2005) Experimentelle Untersuchungen und FE-Simulation zum Sensor-und Aktuatoreinsatz von flächigen PZT-Funktionsmodulen. In: Deutsche Gesellschaft fürMaterialkunde e.V. http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-28844.html

26.

Gehin C, Barthod C, Teissyre Y (2000) Design and characterization of new force resonant sensor. Sens Actuat A Phys 84: 65–69. doi: 10.1016/S0924-4247(99)00359-3

27.

Goethals P (2008) Tactile feedback for robot assisted minimally invasive surgery: an overview. Technical report workshop, Eurohaptics conference. Department of Mechanical Engineering, K.U. Leuven

28.

Gross D et al (2009) Technische Mechanik: Band 2: Elastostatik. Springer, Berlin. ISBN: 978- 3540243120

29.

Hagedorn P et al (1998) The importance of rotor flexibility inultrasonic traveling wave motors. Smart MaterStruct 7:352–368. doi:10.1088/0964-1726/7/3/010

30.

Hasegawa Y, Shikida M et al (2006) An active tactile sensor for detecting mechanical characteristics of contacted objects. J Micromech Microeng IOP 16:1625–1632. doi:10.1088/0960-1317/16/8/026 CrossRef

31.

Hasser CJ, Daniels MW (1996) Tactile feedback with adaptive controller for a force-reflecting haptic display—Part I: design. In: Proceedings of the fifteenth southern biomedical engineering conference, pp 526–529. doi:10.1109/SBEC.1996.493294

32.

Hoffmann K (1985) Eine Einführung in die Technik des Messens mit Dehnungsmessstreifen. Hottinger Baldwin Messtechnik GmbH (HBM)

33.

Hou L (1999) Erfassung und Kompensation von Fehlereffekten bei der statischen Kraftmessung mit monolithischen Nd:YAG-Laserkristallen. PhD thesis, Universität Kassel. https://kobra.bibliothek.uni-kassel.de/handle/urn:nbn:de:hebis:34-159?mode=full

34.

Inaudi D (2004) SOFO sensors for static and dynamic measurements. In: 1st FIG international symposium on engineering surveys for construction works and structural engineering. Nottingham. http://cordis.europa.eu/result/report/rcn/41123_en.html

35.

Keil S (1995) Beanspruchungsermittlung mit Dehnungsmessstreifen. Cuneus Verlag. ISBN: 978- 3980418805

36.

Kerdok A (2006) Characterizing the nonlinear mechanical response of liver to surgical manipulation. PhD thesis, Harvard University, Cambridge. URL: http://biorobotics.harvard.edu/pubs/akthesis.pdf

37.

Kern T (2006) Haptisches Assistenzsystem für diagnostische und therapeutische Katheterisierungen. PhD thesis, Techische Universität Darmstadt, Institut für Elektromechanische Konstruktionen. http://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/761/

38.

Kersey A et al. (1997) Fiber grating sensors. J Lightwave Technol 15(8). doi:10.1109/50.618377

39.

Kim K et al (2007) Calibration of multi-axis MEMS force sensors using the shape-from-motion method. IEEE Sens J 7(3):344–351. doi:10.1109/JSEN.2006.890141 CrossRef

40.

Kizilirmak G (2007) Frei applizierbare MOSFET-Sensorfolie zur Dehnungsmessung". PhD thesis, RWTH Aachen. http://darwin.bth.rwth-aachen.de/opus3/volltexte/2007/1973/pdf/Kizilirmak_Goekhan.pdf

41.

Klages S (2004) Neue Sensorkonzepte zur Zungendruckmessung. Diplomarbeit, Darmstadt: Technische Universität Darmstadt, Institut für Elektromechanische Konstruktionen. http://tubiblio.ulb.tu-darmstadt.de/53658/

42.

Kon S, Oldham K, Horowitz R (2007) Piezoresistive and piezoelectric MEMS strain sensors for vibration detection. In: Proceedings of SPIE, vol 6529, p 65292V-1. doi:10.1117/12.715814

43.

Kunadt A et al (2010) Messtechnische Eigenschaften von Dehnungssensoren aus Kohlenstoff-Filamentgarn in einem Verbundwerkstoff. In: tm-TechnischesMessen/Plattform fürMethoden, Systeme und Anwendungen der Messtechnik 77(2):113–120. doi:10.1524/teme.2010.0014

44.

Lang U et al (2009) Piezoresistive properties of PEDOT: PSS. Microelectron Eng 86(3):330–334. doi:10.1016/j.mee.2008.10.024 CrossRef

45.

LaserComponents Group (2008) Faseroptische Sensoren. http://www.lasercomponents.com/de/1134.html

46.

Latessa G et al (2009) Piezoresistive behaviour of flexible PEDOT.PSS based sensors. Sens Actuat B Chem 139(2):304–309. DOI:http://dx.doi.org/10.1016/j.snb.2009.03.063

47.

Lenk A et al (ed) (2011) Electromechanical systems in microtechnology and mechatronics: electrical, mechanical and acoustic networks, their interactions and applications. Springer, Heidelberg

48.

Luo F et al (1999) A fiber optic microbend sensor for distributed sensing application in the structural strain monitoring". Sens Actuat A Phys 75:41–44. doi:10.1016/S0924-4247(99)00043-6

49.

Maiwald M et al (2010) INKtelligent printed strain gauges. Sens Actuat A Phys 162(2):198–201. doi:10.1016/j.sna.2010.02.019 CrossRef

50.

Matsuzaki R, Todoroki A (2007) Wireless flexible capacitive sensor based on ultra-flexible epoxy resin for strain measurement of automobile tires. Sens Actuat A Phys 140(1):32–42. doi:10.1016/j.sna.2007.06.014 CrossRef

51.

Mehner J (2000) Entwurf in der Mikrosystemtechnik, vol 9. Dresdner Beiträge zur Sensorik. Dresden University Press. ISBN 9783931828479

52.

Meiss T et al (2007) Fertigung eines Miniaturkraftsensors mit asymmetrischem Grundkrper zur Anwendung bei Katheterisierungen. In: MikroSystemTechnik. https://www.vde-verlag.de/proceedings-de/563061014.html

53.

Meiss T (2012) Silizium-Mikro-Kraftsensoren für haptische Katheterisierungen: Entwurf, Musterbau und Signalverarbeitung sowie erste Validierung des Assistenzsystems HapCath. PhD thesis, Technische Universität Darmstadt, Institut für Elektromechanische Konstruktionen. http://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/2952/

54.

Meißner P (2007) Optische Nachrichtentechnik I—Skriptum zur Vorlesung. Skriptum

55.

Meißner P (2006) Seminar zu speziellen Themen der optischen Nachrichtentechnik—Simulatorische und experimentelle Untersuchungen optischer WDM Übertragungssysteme. Skriptum

56.

Meschede D (2007) Optics, light and lasers: the practical approach to modern aspects of photonics and laser physics. 2nd edn. Optik, Licht und Laser engl. Weinheim: Wiley-VCH-Verlag, pp IX, 560. ISBN: 978-3-527-40628-9

57.

Michel J (1995) Drehmomentmessung auf Basis funkabfragbarer Oberflächenwellen-Resonatoren. PhD thesis, Technische Universität München. http://www.mst.ei.tum.de/forschung/veroeffentlichungen/abgeschlossene-dissertationen.html

58.

Micron Instruments (2012) U-shaped semiconductor gage. http://www.microninstruments.com/

59.

Müller M (2009) Untersuchungen zu Kraft-Momenten-Sensoren auf Basis von Faser-Bragg-Gittern. PhD thesis, Technische Universität München. https://mediatum.ub.tum.de/doc/956469/956469.pdf

60.

Nakatani M, Howe R, Tacji S (2006) The fishbone tactile illusion. In: Eurohaptics. IEEE. Paris. http://lsc.univ-evry.fr/eurohaptics/upload/cd/papers/f46.pdf

61.

Nührmann D (1998) Das große Werkbuch Elektronik, vol 7. Franzis’ Verlag, Poing. ISBN: 3772365477

62.

Oddo C et al (2007) Investigation on calibration methods for multi-axis, linear and redundant force sensors. Measur Sci Technol 18:623. doi:10.1088/0957-0233/18/3/011

63.

Palais JC (2005) Fiber optic communications, 5th edn. Pearson Prentice-Hall, Upper Saddle River, pp XIII, 441. ISBN: 0130085103

64.

Pandey N, Yadav B (2006) Embedded fibre optic microbend sensor for measurement of high pressure and crack detection. Sens Actuat A Phys 128:33–36. doi:10.1016/j.sna.2006.01.010 CrossRef

65.

Partsch U (2002) LTCC-kompatible Sensorschichten und deren Applikation in LTCC-Drucksensoren, 1st edn, vol 9. Elektronik-Technologie in Forschung und Praxis 9. Templin/Uckermark: Detert, pp III, 163. ISBN: 3934142117

66.

Pasquale M (2003) Mechanical sensors and actuators. Sens Actuat A Phys 106(1–3):142–148. doi:10.1016/S0924-4247(03)00153-5 CrossRef

67.

Peirs J et al (2004) A micro optical force sensor for force feedback during minimally invasive robotic surgery. Sens Actuat A Phys 115(2–3):447–455. doi:10.1016/j.sna.2004.04.057

68.

Pfeifer G, Werthschützky R (1989) Drucksensoren. Verlag Technik. ISBN: 978-3341006603

69.

Physik Instrumente (PI) GmbH (2010) Flächenwandlermodul. http://www.physikinstrumente.de/de/produkte/prdetail.php?sortnr=101790

70.

Ping L, Yumei W (1996) An arbitrarily distributed tactile sensor array using piezoelectric resonator. In: Instrumentation and measurement technology conference IMTC-96. IEEE conference proceedings, vol 1. Brussels, pp 502–505. doi:10.1109/IMTC.1996.507433

71.

Puers R (1993) Capacitive sensors: when and how to use them. Sens Actuat A Phys 37–38:93–105. doi:10.1016/0924-4247(93)80019-D CrossRef

72.

Rausch J (2012) Entwicklung und Anwendung miniaturisierter piezoresistiver Dehnungsmesselemente. Dissertation, Technische Universität Darmstadt. http://tuprints.ulb.tudarmstadt.de/3003/1/Dissertation-Rausch-online.pdf

73.

Rausch J et al (2006) INKOMAN-Analysis of mechanical behaviour of liver tissue during intracorporal interaction. In: Gemeinsame Jahrestagung der Deutschen, Österreichischen und Schweizerischen Gesellschaften für Biomedizinische Technik 6(9)

74.

Reindl L et al (2001) Passive funkauslesbare sensoren (wireless passive radio sensors). In: TM—Technisches messen/plattform für methoden, Systeme und anwendungen der Messtechnik 68(5):240. doi:10.1524/teme.2001.68.5.240

75.

Rey P, Charvet P et al (1997) A high density capacitive pressure sensor array for fingerprint sensor application. In: International conference on solid-state sensors and actuators, IEEE. Chicago. doi:10.1109/SENSOR.1997.635738

76.

Rosen J, Solazzo M, Hannaford M (2002) Task decomposition of laparoscopic surgery for objective evaluation of surgical residents learning curve using hidden markov model. In: computer aided surgery 7. http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/12173880

77.

Roths J, Kratzer P (2008) Vergleich zwischen optischen Faser-Bragg-Gitter-Dehnungssensoren und elektrischen Dehnungsmessstreifen. In: TM-Technisches Messen 75(12), pp 647–654. doi:10.1524/teme.2008.0903

78.

Russell R (1992) A tactile sensory skin for measuring surface contours. In: Tencon 1992 region 10 conference. IEEE, Melbourne. doi:10.1109/TENCON.1992.271943

79.

Saraf R, Maheshwari V (2006) High-resolution thin-film device to sense texture by touch. Technical report 5779, pp 1501–1504. http://www.sciencemag.org/content/312/5779/1501.full

80.

Sato M, Poupyrev I, Harrison C (2012) Touché: enhancing touch interaction on humans, screens, liquids, and everyday objects. In: Proceedings of the 2012 ACMannual conference on human factors in computing systems, pp 483–492. doi:10.1145/2207676.2207743

81.

Schaumburg H (1992) Sensoren, vol 3. Werkstoffe und Bauelemente der Elektrotechnik 3. Stuttgart: Teubner Verlag, p 517. ISBN: 3519061252

82.

Schlüter V (2010) Entwicklung eines experimentell gestützten Bewertungsverfahrens zur Optimierung und Charakterisierung der Dehnungsübertragung oberflächenapplizierter Faser-Bragg-Gitter- Sensoren. PhD thesis, Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung - BAM. http://www.bam.de/de/service/publikationen/publikationen_medien/dissertationen/diss_56_vt.pdf

83.

Schreier-Alt T (2006) Polymerverkapselung mechatronischer Systeme—Charakterisierung durch eingebettete Faser Bragg Gitter Sensoren". PhD thesis, Technische Universität Berlin, Fakultät IV - Elektrotechnik und Informatik. http://opus4.kobv.de/opus4-tuberlin/frontdoor/index/index/docId/1494

84.

Sektion für UT (1999) Minimal Invasive Chirurgie Tübingen. Verbundprojekt TAMIC—Entwicklung eines taktilen Mikrosensors für die Minimal Invasive Chirurgie - Schlussbericht. Technical report. https://www.yumpu.com/de/document/view/6617211/verbundprojekttamic-entwicklung-eines-taktilen-experimentelle-

85.

Sergio M et al (2003) A dynamically reconfigurable monolithic CMOS pressure sensor for smart fabric. IEEE J Solid-State Circ 38(6):966–968. doi:10.1109/JSSC.2003.811977 CrossRef

86.

Simone C (2002) Modelling of neddle insertion forces of percutaneous therapies. Johns Hopkins University, Diplomarbeit. Baltimore. doi:10.1109/ROBOT.2002.1014848, http://ieeexplore.ieee.org/xpls/abs_all.jsp?arnumber=1014848&tag=1

87.

Sirohi J, Chopra I (2000) Fundamental understanding of piezoelectric strain sensors. J Int Mater Syst Struct 11(4):246–257. doi:10.1106/8BFB-GC8P-XQ47-YCQ0 CrossRef

88.

Silicon Microstructures Incooperated (SMI) (2008) Pressure Sensors Products. http://www.si-micro.com/pressure-sensor-products.html

89.

Smith C (1954) Piezoresistance effect in germanium and silicon. Phys. Rev. Am Phys Soc 94(1):42–49. doi:10.1103/PhysRev.94.42

90.

Stavroulis S (2004) Rechnergestützter Entwurf von piezoresistiven Silizium-Drucksensoren mit realem mechanischem Wandler. Dissertation, Technische Universität Darmstadt, Institut für Elektromechanische Konstruktionen. http://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/473/

91.

Stockmann M (2000) Mikromechanische Analyse der Wirkungsmechanismen elektrischer Dehnungsmessstreifen. Institut für Mechanik der technischen Universiät Chemnitz. http://www.qucosa.de/recherche/frontdoor/?tx_slubopus4frontend[id]=urn:nbn:de:bsz:ch1-200000494

92.

Su L, Chiang K, Lu C (2005) Microbend-induced mode coupling in a graded-index multimode fiber. Appl Opt 44(34). doi:10.1364/AO.44.007394

93.

Sun Y et al (2002) A bulkmicrofabricated multi-axis capacitive cellular force sensor using transverse comb drives. J Micromech Microeng IOP 12:832–840. doi:10.1088/0960-1317/12/6/314 CrossRef

94.

Suster M et al (2006) A high-performance MEMS capacitive strain sensing system. J Microelectromech Syst 15:1069–1077. doi:10.1109/JMEMS.2006.881489 CrossRef

95.

Tegin J, Wikander J (2005) Tactile sensing in intelligent robotic manipulation—a Review. Ind Rob 32(1):64–70. doi:10.1108/01439910510573318 CrossRef

96.

Tietze U, Schenk C (2002) Halbleiter-Schaltungstechnik, 12th edn. Springer, Berlin, pp XXV, 1606. ISBN: 3-540-42849-6

97.

Toda K (1994) Characteristics of interdigital transducers for mechanical sensing and nondestructive testing. Sens Actuat A Phys 44(3):241–247. doi:10.1016/0924-4247(94)00809-4 CrossRef

98.

Tränkler H, Obermeier E (1998) Sensortechnik: Handbuch für Praxis undWissenschaft. Springer, Berlin. ISBN: 978-3-642-29941-4

99.

Unterhofer K et al (2009) CMOS Stressmesssystem zur Charakterisierung von Belastungen auf MEMS Bauteile. In: MikroSystemTechnik KONGRESS 2009. VDE VERLAG GmbH. https://www.vde-verlag.de/proceedings-en/453183009.html

100.

Valdastri P et al (2005) Characterization of a novel hybrid silicon three-axial force sensor. Sens Actuat A Phys 123–124. In: Eurosensors XVIII 2004—The 18th European conference on Solid-State Transducers, pp 249–257. doi:10.1016/j.sna.2005.01.006

101.

Vasarhelyi G, Adama M et al (2006) Effects of the elastic cover on tactile sensor arrays. Sens Actuat A Phys 132:245–251. doi:10.1016/j.sna.2006.01.009 CrossRef

102.

Vasarhelyi G, Fodor B, Roska T (2007) Tactile sensing-processing—interface-cover geometry and the inverse-elastic problem. Sens Actuat A Phys 140:8–18. doi:10.1016/j.sna.2007.05.028 CrossRef

103.

Vazsonyi E et al (2005) Three-dimensional force sensor by novel alkaline etching technique. Sens Actuat A Phys 123–124:620–626. doi:10.1016/j.sna.2005.04.035 CrossRef

104.

Voyles R, Morrow J, Khosla P (1997) The shape from motion approach to rapid and precise force/- torque sensor calibration. Trans ASME-G-J Dyn Syst Measur Control 119(2):229–235. doi:10.1115/1.2801238 CrossRefMATH

105.

Werthschützky R (2007) Mess- und Sensortechnik - Band II: Sensorprinzipien. Vorlesungsskriptum

106.

Werthschützky R, Zahout C (2003) Angepasste Signalverarbeitung für piezoresistive Drucksensoren. In: tm-Technisches Messen/Plattform für Methoden, Systeme und Anwendungen der Messtechnik, pp 258–264. doi:10.1524/teme.70.5.258.20043

107.

Young W, Budynas R (2002) Roark’s formulas for stress and strain, vol 6. McGraw-Hill, New York. ISBN: 007072542X

108.

Ziemann O (2007) POF-Handbuch: optische Kurzstrecken-Übertragungssysteme, 2nd edn. Springer, Berlin, pp XXX, 884. ISBN: 978-3540490937

109.

Zwicker TU ((1989) Strain sensor with commercial SAWR. Sens Actuat A Phys 17(1–2):235–239. doi:10.1016/0250-6874(89)80085-X

Titel: Sensor Design
verfasst von: Jacqueline Rausch
Thorsten A. Kern
Christian Hatzfeld
Verlag: Springer London
Buch: Engineering Haptic Devices
Print ISBN: 978-1-4471-6517-0

Electronic ISBN: 978-1-4471-6518-7

Copyright-Jahr: 2014
DOI: https://doi.org/10.1007/978-1-4471-6518-7_10

Neuer Inhalt

Bildnachweise

VDI-Icon, Profil Icon, inhalt2, Springer Professional Modul/© Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH, Zukunftswerkstatt Sales Excellence_ieS/© Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH, Search Icon, Banner Hanser, Strompreise/© vejaa / stock.adobe.com, Bunte Männchen, die Kunden darstelle, werden von einem riesigen Magneten angezogen. /© Oleksiy Mark, Dr. Daniel Schneider/© Fraunhofer IESE, Zeitschrift Wissensmanagement Cover, PatentFit-Logo/© Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH, Zukunftswerkstatt Sales Excellence 2024/© AndreyPopov / Getty Images / iStock, 2023_Antrieb/© supervisuell, ATZ-Webinar: Prototypenfreie Entwicklung durch Offline- und Driver-in-the-Loop-HiL-Tests /© (c) VI-grade

Springer Professional

Abstract

Bitte loggen Sie sich ein, um Zugang zu Ihrer Lizenz zu erhalten.

Sie haben noch keine Lizenz? Dann Informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Springer Professional "Technik"

Springer Professional "Wirtschaft"

Neuer Inhalt

Bitte loggen Sie sich ein, um Zugang zu Ihrer Lizenz zu erhalten.

Bitte loggen Sie sich ein, um Zugang zu Ihrer Lizenz zu erhalten.