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e+i Elektrotechnik und Informationstechnik
Erschienen in: e & i Elektrotechnik und Informationstechnik 7-8/1998

01.07.1998 | Begutachtete Originalarbeiten

Silizium — Mikrotechnik für thermische Sensoren

verfasst von: F. Kohl, G. Urban, J. Steurer, F. Olcaytug, A. Jachimowicz, A. Glaninger, ÖVE, F. Keplinger, R. Fasching, D. Biacovsky

Erschienen in: e+i Elektrotechnik und Informationstechnik | Ausgabe 7-8/1998

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Metadaten
Titel
Silizium — Mikrotechnik für thermische Sensoren
verfasst von
F. Kohl
G. Urban
J. Steurer
F. Olcaytug
A. Jachimowicz
A. Glaninger, ÖVE
F. Keplinger
R. Fasching
D. Biacovsky
Publikationsdatum
01.07.1998
Verlag
Springer-Verlag
Erschienen in
e+i Elektrotechnik und Informationstechnik / Ausgabe 7-8/1998
Print ISSN: 0932-383X
Elektronische ISSN: 1613-7620
DOI
https://doi.org/10.1007/BF03159609

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