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Technical Physics
Erschienen in: Technical Physics 11/2019

01.11.2019

Simulation of Local Error Correction of the Surface Shape by a Low-Dimensional Ion Beam

verfasst von: A. K. Chernyshev, I. V. Malyshev, A. E. Pestov, N. I. Chkhalo

Erschienen in: Technical Physics | Ausgabe 11/2019

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Abstract

We propose an algorithm for solving the problem of local error correction of the surface shape by a low-dimensional ion beam. The algorithm presumes successive sampling running over protrusions relative to the average height aimed at searching for the optimal etching point satisfying the criterion for the reduction of the sum of derivative moduli on the etching spot. It is shown that the new approach makes it possible to considerably extend the range of spatial frequencies accessible to the action for a given dimension of an ion beam.
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Metadaten
Titel
Simulation of Local Error Correction of the Surface Shape by a Low-Dimensional Ion Beam
verfasst von
A. K. Chernyshev
I. V. Malyshev
A. E. Pestov
N. I. Chkhalo
Publikationsdatum
01.11.2019
Verlag
Pleiades Publishing
Erschienen in
Technical Physics / Ausgabe 11/2019
Print ISSN: 1063-7842
Elektronische ISSN: 1090-6525
DOI
https://doi.org/10.1134/S1063784219110069

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