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Erschienen in:
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2023 | OriginalPaper | Buchkapitel

Thermal Study of Thin-Film Heater for PCR Reaction-Based Applications

verfasst von : Andleeb Zahra, Giampiero de Cesare, Domenico Caputo, Zia Abbas

Erschienen in: Microactuators, Microsensors and Micromechanisms

Verlag: Springer International Publishing

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Abstract

This paper presents the design, fabrication, and characterization of a thin-film Cr-Al-Cr (300 A°-1500 A°-300 A°) metal stack heater specially designed for chemical reactions which occur at a uniform temperature in the lab on a chip platform such as polymerase chain reaction (PCR) applications. The heater has been designed using COMSOL Multiphysics. The simulated design has been fabricated using lithography and patterning on a 5 × 5 cm2 glass substrate. For the validation of the proposed design thermal study of the fabricated heater has also been done using a FLIR IR camera. A very good agreement between the thermal image of modeled and fabricated heater has been achieved. This demonstrates the suitability of the proposed heater for PCR reaction applications.

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Metadaten
Titel
Thermal Study of Thin-Film Heater for PCR Reaction-Based Applications
verfasst von
Andleeb Zahra
Giampiero de Cesare
Domenico Caputo
Zia Abbas
Copyright-Jahr
2023
Buch
Microactuators, Microsensors and Micromechanisms

Print ISBN: 978-3-031-20352-7

Electronic ISBN: 978-3-031-20353-4

Copyright-Jahr: 2023

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-031-20353-4_21

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