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2014 | OriginalPaper | Buchkapitel

Thickness Measurement with Multi-wavelength THz Interferometry

verfasst von : Thi-Dinh Nguyen, J. D. Valera, Andrew J. Moore

Erschienen in: Fringe 2013

Verlag: Springer Berlin Heidelberg

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We present the first use of a widely tuneable, all-optical THz source (an intra-cavity parametric laser) for the thickness measurement of test objects. The optical thickness variation of a test target was measured in a Mach-Zehnder interferometer to within 0.5% of the THz wavelength, and wavelength tuning enabled the unambiguous measurement range to be extended to several wavelengths (half the synthetic wavelength). By detecting the phase change at different regions of an object, the system can also be used internal inspection of suitable materials that are opaque at visible wavelengths.

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Metadaten
Titel
Thickness Measurement with Multi-wavelength THz Interferometry
verfasst von
Thi-Dinh Nguyen
J. D. Valera
Andrew J. Moore
Copyright-Jahr
2014
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-642-36359-7_160