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2013 | OriginalPaper | Buchkapitel

1. Thin-Film Bulk Acoustic Wave Resonators

verfasst von : Marc-Alexandre Dubois, Claude Muller

Erschienen in: MEMS-based Circuits and Systems for Wireless Communication

Verlag: Springer US

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Abstract

Miniature bulk acoustic wave (BAW) resonators are components that exhibit very interesting properties for communication systems, as confirmed by their extensive use nowadays in front-end filters for mobile phones. This chapter reviews the technology enabling the fabrication of these devices and the different models used to describe their electrical performances. Finally, a simple empirical model, mainly based on geometrical parameters, is proposed. It does not require massive computing power, but it can nevertheless predict very accurately the main characteristics of the thin-film BAW resonators.

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Metadaten
Titel
Thin-Film Bulk Acoustic Wave Resonators
verfasst von
Marc-Alexandre Dubois
Claude Muller
Copyright-Jahr
2013
Verlag
Springer US
Buch
MEMS-based Circuits and Systems for Wireless Communication

Print ISBN: 978-1-4419-8797-6

Electronic ISBN: 978-1-4419-8798-3

Copyright-Jahr: 2013

DOI
https://doi.org/10.1007/978-1-4419-8798-3_1

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