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2014 | OriginalPaper | Buchkapitel

79. Thin Film Humidity Sensor Based on Sol–Gel Technology

verfasst von : Giovanni Betta, Serena Esposito, Marco Laracca, Michele Pansini

Erschienen in: Sensors

Verlag: Springer New York

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Abstract

In different technical fields the existence of low cost sensors to be able to measure both humidity and gas in environmental pollution applications is an increasing need. The paper proposes a first step in the realization of an integrated sensor able to give a possible response to this aim. Using the sol–gel technology, a novel resistive humidity sensor based on cobalt doped silica thin film deposited on a quartz support is proposed.

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Literatur
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Betta G, Esposito S, Laracca M, Pansini M (2008) A novel sol–gel-based sensor for humidity detection. In: Proceedings of the 16th IMEKO TC4 symposium, Firenze, 22–24 Sept 2008
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Esposito S, Setaro A, Maddalena P, Aronne A, Pernice P, Laracca M (2011) Synthesis of cobalt doped silica thin film for low temperature optical gas sensor. J Sol–gel Sci Technol, Springer 60(3):388–394
Metadaten
Titel
Thin Film Humidity Sensor Based on Sol–Gel Technology
verfasst von
Giovanni Betta
Serena Esposito
Marco Laracca
Michele Pansini
Copyright-Jahr
2014
Verlag
Springer New York
Buch
Sensors

Print ISBN: 978-1-4614-3859-5

Electronic ISBN: 978-1-4614-3860-1

Copyright-Jahr: 2014

DOI
https://doi.org/10.1007/978-1-4614-3860-1_79

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