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Erschienen in:
1995 | OriginalPaper | Buchkapitel
3D Process Simulation at IEMN/ISEN
verfasst von : B. Baccus, S. Bozek, V. Senez, Z. Z. Wang
Erschienen in: 3-Dimensional Process Simulation
Verlag: Springer Vienna
Enthalten in: Professional Book Archive
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This paper addresses the current fields of interest at IEMN/ISSN concerning 3D process simulation. The emphasis is on the diffusion and oxidation steps and the associated issue of 3D mesh generation. For each step, the achievements are presented with special attention to the numerical aspects. In particular, the principles underlying local remeshing are discussed.