01.12.2011 | Technical Paper
3D surface topography and reflectivity of anisotropic etched silicon micromirrors for BioMEMS
Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 12/2011
EinloggenAktivieren Sie unsere intelligente Suche, um passende Fachinhalte oder Patente zu finden.
Wählen Sie Textabschnitte aus um mit Künstlicher Intelligenz passenden Patente zu finden. powered by
Markieren Sie Textabschnitte, um KI-gestützt weitere passende Inhalte zu finden. powered by