Skip to main content

2014 | OriginalPaper | Buchkapitel

12. A Decade of Advances in Femtosecond Laser Fabrication of Polymers: Mechanisms and Applications

verfasst von : Mangirdas Malinauskas, Saulius Juodkazis

Erschienen in: Fundamentals of Laser-Assisted Micro- and Nanotechnologies

Verlag: Springer International Publishing

Aktivieren Sie unsere intelligente Suche, um passende Fachinhalte oder Patente zu finden.

search-config
loading …

Abstract

We overview principles and developments of three-dimensional (3D) direct laser writing in polymers. Challenges to reach efficient structuring with sub-100 nm spatial resolution are presented. Research into the structuring by ultrashort laser pulses has seen an immense growth over the last decade due to its flexibility, easy handling and variety of applications. Here, a discussion regarding the mechanisms of the linear and nonlinear light absorption at tight focusing conditions and typical writing parameters are provided. The traditional and novel polymers together with their photosensitization and sample developing strategies are reviewed. Sub-1 ps pulses are capable to create cross-linkable species by direct absorption and bond breaking at \(\sim \)TW/cm\(^2\) irradiance. Confined thermal and linear absorption via avalanche ionization is an efficient use of light energy for localized polymerization. This is a unique feature of ultrashort laser. Applications in microoptics, photonics, microfluidics and cell scaffolds are presented. Directions of up-scaling the fabrication throughput for industrial demands are introduced. 3D laser writing is becoming a part of wider field of additive manufacturing techniques which is innovating for creation of microdevices.

Sie haben noch keine Lizenz? Dann Informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft+Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 102.000 Bücher
  • über 537 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Nachhaltigkeit
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Maschinenbau + Werkstoffe
  • Versicherung + Risiko

Jetzt Wissensvorsprung sichern!

Springer Professional "Wirtschaft"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 67.000 Bücher
  • über 340 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Versicherung + Risiko




Jetzt Wissensvorsprung sichern!

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 67.000 Bücher
  • über 390 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Nachhaltigkeit
  • Maschinenbau + Werkstoffe




 

Jetzt Wissensvorsprung sichern!

Fußnoten
1
Other frequently encountered terms which describe the mechanism and become generic are: TPP/2PP—two-photon polymerization, MPP—multi-photon polymerization.
 
2
Here \(\varepsilon _0\) is the dielectric permittivity of vacuum, \(c\) is the speed of light, \(n_0\) is the refractive index of the ambient.
 
3
In practice, using high speed translation stages and fabricating complex shaped structures the limiting factor becomes not the linear scanning velocity itself but the rate of how fast the scanning direction can be changed. In other words acceleration and deceleration, especially at turning points.
 
Literatur
2.
Zurück zum Zitat C. LaFratta et al., Angew. Chem.-Int. Edit. 46, 6238 (2007) C. LaFratta et al., Angew. Chem.-Int. Edit. 46, 6238 (2007)
4.
Zurück zum Zitat M. Malinauskas, M. Farsari, A. Piskarskas, S. Juodkazis, Phys. Rep. 533, 1 (2013)ADS M. Malinauskas, M. Farsari, A. Piskarskas, S. Juodkazis, Phys. Rep. 533, 1 (2013)ADS
5.
Zurück zum Zitat J. Serbin, A. Ovsianikov, B. Chichkov, Opt. Express 12, 5221 (2004)ADS J. Serbin, A. Ovsianikov, B. Chichkov, Opt. Express 12, 5221 (2004)ADS
6.
7.
8.
Zurück zum Zitat P. Galajda, P. Ormos, J. Opt. B-Quantum S. O. 4, 78 (2002) P. Galajda, P. Ormos, J. Opt. B-Quantum S. O. 4, 78 (2002)
9.
Zurück zum Zitat C. Schizas et al., Int. J. Adv. Manuf. Technol. 48, 435 (2010) C. Schizas et al., Int. J. Adv. Manuf. Technol. 48, 435 (2010)
10.
Zurück zum Zitat L. Amato et al., Lab Chip 12, 1135 (2012) L. Amato et al., Lab Chip 12, 1135 (2012)
11.
12.
13.
Zurück zum Zitat A. Žukauskas, M. Malinauskas, E. Brasselet, Appl. Phys. Lett. 103, 181122 (2013)ADS A. Žukauskas, M. Malinauskas, E. Brasselet, Appl. Phys. Lett. 103, 181122 (2013)ADS
14.
Zurück zum Zitat S.-H. Park, D.-Y. Yang, K.-S. Lee, Laser Photon. Rev. 3, 1 (2009) S.-H. Park, D.-Y. Yang, K.-S. Lee, Laser Photon. Rev. 3, 1 (2009)
15.
Zurück zum Zitat S. Juodkazis, V. Mizeikis, H. Misawa, J. Appl. Phys. 106, 051101 (2009)ADS S. Juodkazis, V. Mizeikis, H. Misawa, J. Appl. Phys. 106, 051101 (2009)ADS
16.
17.
Zurück zum Zitat M. Farsari et al., J. Mat. Process. Tech. 107, 167 (2000) M. Farsari et al., J. Mat. Process. Tech. 107, 167 (2000)
18.
Zurück zum Zitat P. Calvert, Chem. Mat. 13, 3299 (2001) P. Calvert, Chem. Mat. 13, 3299 (2001)
19.
Zurück zum Zitat E. Tekin, P. Smith, U. Schubert, Soft Matt. 04, 703 (2008)ADS E. Tekin, P. Smith, U. Schubert, Soft Matt. 04, 703 (2008)ADS
20.
Zurück zum Zitat I. Gibson, D. Shi, Rapid Prototyp. J. 3, 129 (1997) I. Gibson, D. Shi, Rapid Prototyp. J. 3, 129 (1997)
21.
Zurück zum Zitat I. Yadroitsev et al., Appl. Surf. Sci. 255, 55235527 (2009) I. Yadroitsev et al., Appl. Surf. Sci. 255, 55235527 (2009)
22.
23.
Zurück zum Zitat A. Grigorescu, C. Hagen, Nanotechnology 20, 292001 (2009) A. Grigorescu, C. Hagen, Nanotechnology 20, 292001 (2009)
24.
Zurück zum Zitat A. Majumdar et al., Appl. Phys. Lett. 61, 2293 (1992)ADS A. Majumdar et al., Appl. Phys. Lett. 61, 2293 (1992)ADS
25.
Zurück zum Zitat S. Lyuksyutov et al., Nat. Mat. 2, 468 (2003) S. Lyuksyutov et al., Nat. Mat. 2, 468 (2003)
26.
Zurück zum Zitat W. Denk, J.H. Strickler, W.W. Webb, Science 248, 73 (1990)ADS W. Denk, J.H. Strickler, W.W. Webb, Science 248, 73 (1990)ADS
27.
28.
Zurück zum Zitat S. Juodkazis et al., Nanotechnology 16, 846 (2005)ADS S. Juodkazis et al., Nanotechnology 16, 846 (2005)ADS
29.
Zurück zum Zitat T. Buckmann et al., Adv. Mater. 24, 2710 (2012) T. Buckmann et al., Adv. Mater. 24, 2710 (2012)
30.
Zurück zum Zitat F. Burmeister, U.D. Zeitner, S. Nolte, A. Tunnermann, Opt. Express 20, 7994 (2012)ADS F. Burmeister, U.D. Zeitner, S. Nolte, A. Tunnermann, Opt. Express 20, 7994 (2012)ADS
31.
Zurück zum Zitat S. Juodkazis et al., Opt. Express 17, 15308 (2009)ADS S. Juodkazis et al., Opt. Express 17, 15308 (2009)ADS
32.
Zurück zum Zitat H. Lin, B. Jia, M. Gu, Opt. Lett. 36, 406 (2011) H. Lin, B. Jia, M. Gu, Opt. Lett. 36, 406 (2011)
33.
Zurück zum Zitat R. Nielson, B. Kaehr, J.B. Shear, Small 5, 120 (2009) R. Nielson, B. Kaehr, J.B. Shear, Small 5, 120 (2009)
34.
Zurück zum Zitat J.-I. Kato et al., Appl. Phys. Lett. 86, 044102 (2005) J.-I. Kato et al., Appl. Phys. Lett. 86, 044102 (2005)
35.
Zurück zum Zitat S. Gittard et al., Biomed. Opt. Express 2, 3167 (2011) S. Gittard et al., Biomed. Opt. Express 2, 3167 (2011)
36.
Zurück zum Zitat E. Stankevicius et al., J. Micromech. Microeng. 22, 065022 (2012)ADS E. Stankevicius et al., J. Micromech. Microeng. 22, 065022 (2012)ADS
37.
Zurück zum Zitat S. Matsuo, S. Juodkazis, H. Misawa, Appl. Phys. A 80, 683 (2004)ADS S. Matsuo, S. Juodkazis, H. Misawa, Appl. Phys. A 80, 683 (2004)ADS
38.
Zurück zum Zitat M. Malinauskas et al., Opt. Express 18, 10209 (2010)ADS M. Malinauskas et al., Opt. Express 18, 10209 (2010)ADS
39.
Zurück zum Zitat M. Malinauskas et al., Lith. J. Phys. 5, 201 (2010) M. Malinauskas et al., Lith. J. Phys. 5, 201 (2010)
40.
Zurück zum Zitat M. Malinauskas, et al., Proc. SPIE 7204, 72040C1 (2009) M. Malinauskas, et al., Proc. SPIE 7204, 72040C1 (2009)
41.
43.
Zurück zum Zitat H. Sun, S. Kawata, Appl. Phys. Lett. 86, 071122 (2005)ADS H. Sun, S. Kawata, Appl. Phys. Lett. 86, 071122 (2005)ADS
44.
Zurück zum Zitat M. Malinauskas et al., Lith. J. Phys. 50, 135 (2010) M. Malinauskas et al., Lith. J. Phys. 50, 135 (2010)
45.
Zurück zum Zitat T. Kondo et al., Thin Solid Films 453–4, 550 (2004)ADS T. Kondo et al., Thin Solid Films 453–4, 550 (2004)ADS
46.
Zurück zum Zitat A. Žukauskas et al., SPIE 8428, 84280K (2012) A. Žukauskas et al., SPIE 8428, 84280K (2012)
48.
Zurück zum Zitat A. Pikulin, N. Bityurin, Tech. Phys. 57, 697 (2012) A. Pikulin, N. Bityurin, Tech. Phys. 57, 697 (2012)
49.
Zurück zum Zitat S.-H. Park et al., Microelectron. Eng. 85, 432 (2008) S.-H. Park et al., Microelectron. Eng. 85, 432 (2008)
50.
Zurück zum Zitat S. Maruo, T. Hasegawa, N. Yoshimura, Opt. Express 17, 20945 (2009) S. Maruo, T. Hasegawa, N. Yoshimura, Opt. Express 17, 20945 (2009)
51.
Zurück zum Zitat S. Park, T. Lim, D.-Y. Yanga, N. Cho, K.-S. Lee, Appl. Phys. Lett. 89, 173133 (2006)ADS S. Park, T. Lim, D.-Y. Yanga, N. Cho, K.-S. Lee, Appl. Phys. Lett. 89, 173133 (2006)ADS
52.
Zurück zum Zitat D. Tan et al., Appl. Phys. Lett. 90, 071106 (2007)ADS D. Tan et al., Appl. Phys. Lett. 90, 071106 (2007)ADS
53.
Zurück zum Zitat R. Borisov et al., Laser Phys. 8, 1105 (1998) R. Borisov et al., Laser Phys. 8, 1105 (1998)
54.
Zurück zum Zitat D. Wu et al., Lab Chip 9, 2391 (2009) D. Wu et al., Lab Chip 9, 2391 (2009)
55.
Zurück zum Zitat D.-Y. Yang et al., Appl. Phys. Lett. 90, 013113 (2007)ADS D.-Y. Yang et al., Appl. Phys. Lett. 90, 013113 (2007)ADS
56.
Zurück zum Zitat M. Farsari et al., J. Photochem. Photobiol. A 181, 132 (2006) M. Farsari et al., J. Photochem. Photobiol. A 181, 132 (2006)
57.
58.
Zurück zum Zitat M. Farsari, M. Vamvakaki, B. Chichkov, J. Opt. 12, 124001 (2010)ADS M. Farsari, M. Vamvakaki, B. Chichkov, J. Opt. 12, 124001 (2010)ADS
59.
Zurück zum Zitat A. Radke et al., Adv. Mater. 23, 3018 (2011) A. Radke et al., Adv. Mater. 23, 3018 (2011)
61.
62.
Zurück zum Zitat B.N. Chichkov et al., Proc. MRS 850, 251 (2005) B.N. Chichkov et al., Proc. MRS 850, 251 (2005)
63.
64.
Zurück zum Zitat B. Kaehr et al., Anal. Chem. 78, 3198 (2006) B. Kaehr et al., Anal. Chem. 78, 3198 (2006)
65.
Zurück zum Zitat S. Turunen et al., Biofabrication 3, 045002 (2011)ADS S. Turunen et al., Biofabrication 3, 045002 (2011)ADS
66.
Zurück zum Zitat H.-B. Sun, S. Matsuo, H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 74, 786 (1999)ADS H.-B. Sun, S. Matsuo, H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 74, 786 (1999)ADS
67.
Zurück zum Zitat R. Infuehr et al., Appl. Surf. Sci. 254, 836 (2007)ADS R. Infuehr et al., Appl. Surf. Sci. 254, 836 (2007)ADS
68.
Zurück zum Zitat S. Rekštytė, M. Malinauskas, S. Juodkazis, Opt. Express 21, 17028 (2013)ADS S. Rekštytė, M. Malinauskas, S. Juodkazis, Opt. Express 21, 17028 (2013)ADS
70.
Zurück zum Zitat M.T. Do et al., Opt. Express 21, 26244 (2013) M.T. Do et al., Opt. Express 21, 26244 (2013)
71.
Zurück zum Zitat P. Danilevicius, M. Malinauskas, S. Juodkazis, Opt. Express 19, 5602 (2011)ADS P. Danilevicius, M. Malinauskas, S. Juodkazis, Opt. Express 19, 5602 (2011)ADS
72.
Zurück zum Zitat T. Baldacchini, S. Snider, R. Zadoyan, Opt. Express 20, 29890 (2013)ADS T. Baldacchini, S. Snider, R. Zadoyan, Opt. Express 20, 29890 (2013)ADS
73.
74.
Zurück zum Zitat S. Maruo, O. Nakamura, S. Kawata, Opt. Lett. 22, 132 (1997)ADS S. Maruo, O. Nakamura, S. Kawata, Opt. Lett. 22, 132 (1997)ADS
75.
Zurück zum Zitat S. Maruo, K. Ikuta, Appl. Phys. Lett. 76, 2656 (2000)ADS S. Maruo, K. Ikuta, Appl. Phys. Lett. 76, 2656 (2000)ADS
76.
Zurück zum Zitat T. Baldacchini et al., J. Appl. Phys. 95, 6072 (2004)ADS T. Baldacchini et al., J. Appl. Phys. 95, 6072 (2004)ADS
77.
Zurück zum Zitat S. Maruo, O. Nakamura, S. Kawata, Thin Solid Films 453–4, 518 (2004) S. Maruo, O. Nakamura, S. Kawata, Thin Solid Films 453–4, 518 (2004)
78.
Zurück zum Zitat Z.B. Sun et al., Adv. Mater. 20, 914 (2008) Z.B. Sun et al., Adv. Mater. 20, 914 (2008)
79.
Zurück zum Zitat Z. Sun et al., Nanotechnology 19, 035611 (2008) Z. Sun et al., Nanotechnology 19, 035611 (2008)
80.
Zurück zum Zitat F. Formanek et al., Appl. Phys. Lett. 88, 3 (2006) F. Formanek et al., Appl. Phys. Lett. 88, 3 (2006)
81.
Zurück zum Zitat N. Takeyasu, T. Tanaka, S. Kawata, Appl. Phys. A 90, 205 (2008)ADS N. Takeyasu, T. Tanaka, S. Kawata, Appl. Phys. A 90, 205 (2008)ADS
82.
83.
Zurück zum Zitat C. Mendonca et al., Appl. Phys. Lett. 95, 113309 (2009)ADS C. Mendonca et al., Appl. Phys. Lett. 95, 113309 (2009)ADS
85.
86.
Zurück zum Zitat K. Belfield et al., J. Phys. Org. Chem. 13, 837 (2000) K. Belfield et al., J. Phys. Org. Chem. 13, 837 (2000)
88.
Zurück zum Zitat M. Deubel et al., Appl. Phys. Lett. 85, 1895 (2004)ADS M. Deubel et al., Appl. Phys. Lett. 85, 1895 (2004)ADS
89.
Zurück zum Zitat V. Mizeikis, K. Seet, S. Juodkazis, H. Misawa, Opt. Lett. 29, 2061 (2004)ADS V. Mizeikis, K. Seet, S. Juodkazis, H. Misawa, Opt. Lett. 29, 2061 (2004)ADS
90.
Zurück zum Zitat K. Seet, V. Mizeikis, S. Matsuo, S. Juodkazis, H. Misawa, Adv. Mater. 17, 541 (2005) K. Seet, V. Mizeikis, S. Matsuo, S. Juodkazis, H. Misawa, Adv. Mater. 17, 541 (2005)
91.
Zurück zum Zitat K.K. Seet, V. Mizeikis, S. Juodkazis, H. Misawa, J. Non-Crystal, Solids 352, 2390 (2006) K.K. Seet, V. Mizeikis, S. Juodkazis, H. Misawa, J. Non-Crystal, Solids 352, 2390 (2006)
92.
93.
Zurück zum Zitat G. Kumi, C. Yanez, K. Belfield, J. Fourkas, Lab Chip 10, 1057 (2010) G. Kumi, C. Yanez, K. Belfield, J. Fourkas, Lab Chip 10, 1057 (2010)
94.
Zurück zum Zitat M. Stoneman, M. Fox, C. Zeng, V. Raicu, Lab Chip 9, 819 (2009) M. Stoneman, M. Fox, C. Zeng, V. Raicu, Lab Chip 9, 819 (2009)
95.
Zurück zum Zitat Y. Chen, A. Tal, D. Torrance, S. Kuebler, Adv. Funct. Mater. 16, 1739 (2006) Y. Chen, A. Tal, D. Torrance, S. Kuebler, Adv. Funct. Mater. 16, 1739 (2006)
96.
97.
Zurück zum Zitat M. Straub, L. Nguyen, A. Fazlic, M. Gu, Opt. Mater. 27, 359 (2004)ADS M. Straub, L. Nguyen, A. Fazlic, M. Gu, Opt. Mater. 27, 359 (2004)ADS
98.
Zurück zum Zitat R. Houbertz et al., Thin Solid Films 442, 194 (2003)ADS R. Houbertz et al., Thin Solid Films 442, 194 (2003)ADS
99.
Zurück zum Zitat R. Houbertz et al., Adv. Eng. Mater. 5, 551 (2003) R. Houbertz et al., Adv. Eng. Mater. 5, 551 (2003)
100.
Zurück zum Zitat Y. Jun, P. Nagpal, D. Norris, Adv. Mater. 20, 60610 (2008) Y. Jun, P. Nagpal, D. Norris, Adv. Mater. 20, 60610 (2008)
101.
102.
Zurück zum Zitat J. Li et al., Adv. Mater. 19, 3276 (2007) J. Li et al., Adv. Mater. 19, 3276 (2007)
103.
Zurück zum Zitat J. Li, B. Jia, M. Gu, Opt. Express 16, 20073 (2009)ADS J. Li, B. Jia, M. Gu, Opt. Express 16, 20073 (2009)ADS
104.
Zurück zum Zitat T. Woggon, T. Kleiner, M. Punke, U. Lemmer, Opt. Express 17, 2500 (2009)ADS T. Woggon, T. Kleiner, M. Punke, U. Lemmer, Opt. Express 17, 2500 (2009)ADS
105.
106.
Zurück zum Zitat I. Sakellari et al., Appl. Phys. A 100, 359 (2010)ADS I. Sakellari et al., Appl. Phys. A 100, 359 (2010)ADS
107.
Zurück zum Zitat A. Ovsianikov et al., ACS Nano 2, 2257 (2008) A. Ovsianikov et al., ACS Nano 2, 2257 (2008)
108.
Zurück zum Zitat T. Grossmann et al., Opt. Express 19, 11451 (2011)ADS T. Grossmann et al., Opt. Express 19, 11451 (2011)ADS
109.
Zurück zum Zitat B. Bhuian, R. Winfield, S. O’Brien, G. Crean, Appl. Surf. Sci. 252, 4845 (2006)ADS B. Bhuian, R. Winfield, S. O’Brien, G. Crean, Appl. Surf. Sci. 252, 4845 (2006)ADS
110.
Zurück zum Zitat R. Winfield, B. Bhuian, S. O’Brien, G. Crean, Appl. Phys. Lett. 90, 111115 (2007)ADS R. Winfield, B. Bhuian, S. O’Brien, G. Crean, Appl. Phys. Lett. 90, 111115 (2007)ADS
111.
Zurück zum Zitat R. Winfield, B. Bhuian, S. O’Brien, G. Crean, Appl. Surf. Sci. 253, 8086 (2007)ADS R. Winfield, B. Bhuian, S. O’Brien, G. Crean, Appl. Surf. Sci. 253, 8086 (2007)ADS
112.
Zurück zum Zitat M. Farsari, B. Chichkov, Nat. Photon. 3, 450 (2009)ADS M. Farsari, B. Chichkov, Nat. Photon. 3, 450 (2009)ADS
113.
Zurück zum Zitat M. Malinauskas et al., Metamaterials 5, 135 (2011)ADS M. Malinauskas et al., Metamaterials 5, 135 (2011)ADS
114.
Zurück zum Zitat A. Ovsianikov et al., Opt. Express 17, 2143 (2009)ADS A. Ovsianikov et al., Opt. Express 17, 2143 (2009)ADS
115.
Zurück zum Zitat M. Farsari et al., Appl. Phys. A-Mater. 93, 11 (2008)ADS M. Farsari et al., Appl. Phys. A-Mater. 93, 11 (2008)ADS
116.
Zurück zum Zitat B. Jia, D. Buso, J. van Embden, J. Li, M. Gu, Adv. Mater. 22, 2463 (2010) B. Jia, D. Buso, J. van Embden, J. Li, M. Gu, Adv. Mater. 22, 2463 (2010)
117.
Zurück zum Zitat A. Zukauskas, et al. Lith. J. Phys. 50, 55 (2010) A. Zukauskas, et al. Lith. J. Phys. 50, 55 (2010)
118.
Zurück zum Zitat K. Terzaki et al., Opt. Mater. Express 1, 586 (2011) K. Terzaki et al., Opt. Mater. Express 1, 586 (2011)
119.
Zurück zum Zitat N. Vasilantonakis et al., Adv. Mater. 24, 1101 (2012) N. Vasilantonakis et al., Adv. Mater. 24, 1101 (2012)
120.
Zurück zum Zitat S. Seidlits, C. Schmidt, J. Shear, Adv. Funct. Mater. 19, 3543 (2009) S. Seidlits, C. Schmidt, J. Shear, Adv. Funct. Mater. 19, 3543 (2009)
121.
Zurück zum Zitat E. Ritschdorff, J. Shear, Anal. Chem. 82, 8733 (2010) E. Ritschdorff, J. Shear, Anal. Chem. 82, 8733 (2010)
122.
Zurück zum Zitat F. Claeyssens et al., Langmuir 25, 3219 (2009) F. Claeyssens et al., Langmuir 25, 3219 (2009)
123.
Zurück zum Zitat V. Melissinaki et al., Biofabrication 3, 045005 (2011)ADS V. Melissinaki et al., Biofabrication 3, 045005 (2011)ADS
124.
Zurück zum Zitat A. Ovsianikov et al., Acta Biomater. 7, 967 (2011) A. Ovsianikov et al., Acta Biomater. 7, 967 (2011)
125.
Zurück zum Zitat T. Drakakis et al., Appl. Phys. Lett. 89, 144108 (2006)ADS T. Drakakis et al., Appl. Phys. Lett. 89, 144108 (2006)ADS
126.
Zurück zum Zitat M. Farsari et al., Appl. Surf. Sci. 253, 8115 (2007)ADS M. Farsari et al., Appl. Surf. Sci. 253, 8115 (2007)ADS
127.
Zurück zum Zitat S. Baudis et al., Biomed. Mater. 6, 055003 (2011)ADS S. Baudis et al., Biomed. Mater. 6, 055003 (2011)ADS
128.
Zurück zum Zitat M. Malinauskas et al., Appl. Phys. A 108, 751 (2012)ADS M. Malinauskas et al., Appl. Phys. A 108, 751 (2012)ADS
129.
Zurück zum Zitat D. Wu et al., Appl. Phys. Lett. 97, 031109 (2010)ADS D. Wu et al., Appl. Phys. Lett. 97, 031109 (2010)ADS
130.
Zurück zum Zitat M. Malinauskas et al., Eur. Phys. J. Appl. Phys. 58, 20501 (2012)ADS M. Malinauskas et al., Eur. Phys. J. Appl. Phys. 58, 20501 (2012)ADS
131.
132.
Zurück zum Zitat E. Brasselet et al., Appl. Phys. Lett. 97, 211108 (2010)ADS E. Brasselet et al., Appl. Phys. Lett. 97, 211108 (2010)ADS
133.
Zurück zum Zitat A. Žukauskas, et al., JLMN 9(1), 68 (2014) A. Žukauskas, et al., JLMN 9(1), 68 (2014)
134.
Zurück zum Zitat M. Mizoshiri, H. Nishiyama, J. Nishii, Y. Hirata, Appl. Phys. A 98, 171 (2010)ADS M. Mizoshiri, H. Nishiyama, J. Nishii, Y. Hirata, Appl. Phys. A 98, 171 (2010)ADS
135.
Zurück zum Zitat G. Cojoc et al., Microelectron. Eng. 87, 876 (2010) G. Cojoc et al., Microelectron. Eng. 87, 876 (2010)
136.
Zurück zum Zitat M. Thiel, J. Ott, A. Radke, J. Kaschke, M. Wegener, Opt. Lett. 38, 4252 (2013)ADS M. Thiel, J. Ott, A. Radke, J. Kaschke, M. Wegener, Opt. Lett. 38, 4252 (2013)ADS
137.
Zurück zum Zitat K. Seet, V. Mizeikis, S. Juodkazis, H. Misawa, Appl. Phys. A 82, 683 (2005)ADS K. Seet, V. Mizeikis, S. Juodkazis, H. Misawa, Appl. Phys. A 82, 683 (2005)ADS
138.
Zurück zum Zitat K. Seet, V. Mizeikis, S. Juodkazis, H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 88, 221101 (2006)ADS K. Seet, V. Mizeikis, S. Juodkazis, H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 88, 221101 (2006)ADS
139.
Zurück zum Zitat K.K. Seet et al., IEEE J. Sel. Top. Quant. 14, 1064 (2008) K.K. Seet et al., IEEE J. Sel. Top. Quant. 14, 1064 (2008)
140.
Zurück zum Zitat N. Tetreault et al., Adv. Mat. 18, 457 (2006) N. Tetreault et al., Adv. Mat. 18, 457 (2006)
141.
Zurück zum Zitat S. Juodkazis et al., Appl. Phys. Lett. 91, 241904 (2007)ADS S. Juodkazis et al., Appl. Phys. Lett. 91, 241904 (2007)ADS
142.
143.
144.
145.
Zurück zum Zitat P. Tayalia et al., Adv. Mat. 20, 4494 (2008) P. Tayalia et al., Adv. Mat. 20, 4494 (2008)
146.
Zurück zum Zitat M. Malinauskas et al., Lith. J. Phys. 50, 75 (2010) M. Malinauskas et al., Lith. J. Phys. 50, 75 (2010)
147.
Zurück zum Zitat S. Psycharakis et al., Biomed. Mater. 6, 045008 (2011) S. Psycharakis et al., Biomed. Mater. 6, 045008 (2011)
148.
Zurück zum Zitat P. Danilevicius et al., Opt. Laser. Technol. 45, 518 (2013)ADS P. Danilevicius et al., Opt. Laser. Technol. 45, 518 (2013)ADS
149.
Zurück zum Zitat S. Gittard et al., Expert Opin. Drug Deliv. 7, 513 (2010) S. Gittard et al., Expert Opin. Drug Deliv. 7, 513 (2010)
150.
Zurück zum Zitat P. Danilevicius et al., J. Biomed. Opt. 17, 081405 (2012)ADS P. Danilevicius et al., J. Biomed. Opt. 17, 081405 (2012)ADS
151.
Zurück zum Zitat A. Ovsianikov et al., J. Tissue. Eng. Regen. Med. 1, 443 (2007) A. Ovsianikov et al., J. Tissue. Eng. Regen. Med. 1, 443 (2007)
152.
Zurück zum Zitat A. Ovsianikov et al., Appl. Surf. Sci. 253, 6603 (2007)ADS A. Ovsianikov et al., Appl. Surf. Sci. 253, 6603 (2007)ADS
153.
Zurück zum Zitat A. Ovsianikov et al., Biomacromolecules 12, 851 (2011) A. Ovsianikov et al., Biomacromolecules 12, 851 (2011)
154.
Zurück zum Zitat F. Klein et al., Adv. Mater. 23, 1341 (2011) F. Klein et al., Adv. Mater. 23, 1341 (2011)
155.
Zurück zum Zitat S. Rekštytė, et al., JLMN 9(1), 25 (2014) S. Rekštytė, et al., JLMN 9(1), 25 (2014)
156.
Zurück zum Zitat S. Gittard et al., Biofabrication 1, 041001 (2009)ADS S. Gittard et al., Biofabrication 1, 041001 (2009)ADS
157.
158.
159.
Zurück zum Zitat S. Zhang, F. Gelain, X. Zhao, Semin. Cancer Biol. 15, 413 (2005) S. Zhang, F. Gelain, X. Zhao, Semin. Cancer Biol. 15, 413 (2005)
161.
Zurück zum Zitat E. Stratakis et al., Prog. Quant. Electron. 33, 127 (2009)ADS E. Stratakis et al., Prog. Quant. Electron. 33, 127 (2009)ADS
162.
Zurück zum Zitat R. Narayan, P. Goering, MRS Bulletin 36, 973 (2011) R. Narayan, P. Goering, MRS Bulletin 36, 973 (2011)
163.
Zurück zum Zitat S. Engelhardt et al., Biofabrication 3, 025003 (2011)ADS S. Engelhardt et al., Biofabrication 3, 025003 (2011)ADS
164.
Zurück zum Zitat K. Aarcaute, B. Mann, R. Wicker, Annals. Biomed. Eng. 34, 1429 (2006) K. Aarcaute, B. Mann, R. Wicker, Annals. Biomed. Eng. 34, 1429 (2006)
165.
Zurück zum Zitat J. Torgersen et al., J. Biomed. Opt. 17, 105008 (2012)ADS J. Torgersen et al., J. Biomed. Opt. 17, 105008 (2012)ADS
166.
Zurück zum Zitat A. Ovsianikov, et al., Langmuir 30(13), 3787 (2014) A. Ovsianikov, et al., Langmuir 30(13), 3787 (2014)
167.
Zurück zum Zitat A. Ovsianikov, et al., Expert Rev. Med. Devices 9(6), 613 (2012) A. Ovsianikov, et al., Expert Rev. Med. Devices 9(6), 613 (2012)
168.
Zurück zum Zitat R. Wittig, E. Waller, G. von Freymann, R. Steiner, J. Laser Appl. 24, 042011 (2012)ADS R. Wittig, E. Waller, G. von Freymann, R. Steiner, J. Laser Appl. 24, 042011 (2012)ADS
169.
Zurück zum Zitat W. Xiong et al., Light Sci. Appl. 1, e6 (2012) W. Xiong et al., Light Sci. Appl. 1, e6 (2012)
170.
Zurück zum Zitat A. Ovsianikov et al., Biofabrication 2, 014104 (2010)ADS A. Ovsianikov et al., Biofabrication 2, 014104 (2010)ADS
171.
172.
173.
Zurück zum Zitat L. Li, R. Gattass, E. Gershgoren, H. Hwang, J. Fourkas, Science 324, 910 (2009)ADS L. Li, R. Gattass, E. Gershgoren, H. Hwang, J. Fourkas, Science 324, 910 (2009)ADS
174.
Zurück zum Zitat J. Fischer, M. Wegener, Opt. Mater. Express 1, 614 (2011) J. Fischer, M. Wegener, Opt. Mater. Express 1, 614 (2011)
175.
Zurück zum Zitat M. Duocastella, C. Arnold, Laser Photon. Rev. 6, 607 (2012) M. Duocastella, C. Arnold, Laser Photon. Rev. 6, 607 (2012)
176.
Zurück zum Zitat F. Dawood, S. Qin, L. Li, E. Lina, J. Fourkas, Chem. Sci. 3, 2449 (2012) F. Dawood, S. Qin, L. Li, E. Lina, J. Fourkas, Chem. Sci. 3, 2449 (2012)
177.
Zurück zum Zitat M. Schroder et al., J. Europ. Opt. Soc. Rap. Public. 7, 12027 (2012) M. Schroder et al., J. Europ. Opt. Soc. Rap. Public. 7, 12027 (2012)
178.
Zurück zum Zitat C.-W. Lee, S. Pagliara, U. Keyser, J. Baumberg, Appl. Phys. Lett. 100, 171102 (2012)ADS C.-W. Lee, S. Pagliara, U. Keyser, J. Baumberg, Appl. Phys. Lett. 100, 171102 (2012)ADS
179.
Zurück zum Zitat M. Rohrig, M. Thiel, M. Worgull, H. Holscher, Small 8, 2918 (2012) M. Rohrig, M. Thiel, M. Worgull, H. Holscher, Small 8, 2918 (2012)
Metadaten
Titel
A Decade of Advances in Femtosecond Laser Fabrication of Polymers: Mechanisms and Applications
verfasst von
Mangirdas Malinauskas
Saulius Juodkazis
Copyright-Jahr
2014
DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-319-05987-7_12

Premium Partner