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Erschienen in:

01.06.2011

A Parallel Tester Architecture for Accelerometer and Gyroscope MEMS Calibration and Test

verfasst von: Lyl M. Ciganda Brasca, Paolo Bernardi, Matteo Sonza Reorda, Dimitri Barbieri, Luciano Bonaria, Roberto Losco, Luciano Marcigot, Maurizio Straiotto

Erschienen in: Journal of Electronic Testing | Ausgabe 3/2011

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Abstract

This paper describes a tester architecture for Accelerometer and Gyroscope Micro-ElectroMechanical System (MEMS) devices test and calibration, allowing increased parallelism rate and process accuracy. The proposed tester architecture tackles some critical issues related to MEMS testing, such as mitigating mechanical concerns that potentially impact on the equipment Mean Time Between Maintenance and guaranteeing a sufficient number of measurements in the time unit. The proposed strategy consists in an innovative and low cost tester resource partitioning that overcomes current limitations to multisite Accelerometer and Gyroscope MEMS testing. A tester prototype was implemented exploiting FPGAs; feasibility and effectiveness of the proposed methodology was demonstrated on commercial accelerometer and gyroscope MEMS devices.

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Titel: A Parallel Tester Architecture for Accelerometer and Gyroscope MEMS Calibration and Test
verfasst von: Lyl M. Ciganda Brasca
Paolo Bernardi
Matteo Sonza Reorda
Dimitri Barbieri
Luciano Bonaria
Roberto Losco
Luciano Marcigot
Maurizio Straiotto
Publikationsdatum: 01.06.2011
Verlag: Springer US
Erschienen in: Journal of Electronic Testing / Ausgabe 3/2011
Print ISSN: 0923-8174
Elektronische ISSN: 1573-0727
DOI: https://doi.org/10.1007/s10836-011-5210-2

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