Skip to main content
Fachgebiete
Automobil + Motoren Bauwesen + Immobilien Business IT + Informatik Elektrotechnik + Elektronik Energie + Nachhaltigkeit Finance + Banking Management + Führung Marketing + Vertrieb Maschinenbau + Werkstoffe Versicherung + Risiko
DE
EN
Themenseiten
Organisationspsychologie Projektmanagement Marketing Smart Manufacturing
Bücher
Zeitschriften
Weitere Formate
Podcasts Webinare Technik Webinare Wirtschaft Kongresse Veranstaltungskalender Awards
Jetzt Einzelzugang starten
Zugang für Unternehmen
Referenzkunden
MTZ-Fachkongress

Antriebe und Energiesysteme von morgen


Austausch von Automobil- und Energiewirtschaft

Am 14./15. Mai geht es in Chemnitz um die Mobilitätswende durch Elektro- und Wasserstofffahrzeuge.
Erweiterte Suche
Anmelden
nach oben
Erschienen in:
Introduction Kapitel lesen Erstes Kapitel lesen

2015 | OriginalPaper | Buchkapitel

9. Airborne Contamination

verfasst von : Ahmad Soueid, E. Clayton Teague, James Murday

Erschienen in: Buildings for Advanced Technology

Verlag: Springer International Publishing

Einloggen

Aktivieren Sie unsere intelligente Suche, um passende Fachinhalte oder Patente zu finden.

search-config
loading …

Abstract

This chapter provides a broad overview of the sources of airborne contamination that may occur in buildings designed for advanced technology instruments and fabrication facilities. International standards for classifying levels of cleanliness of the air in these spaces in terms of particle size and particle concentration are briefly described. This is followed by an overview of cleanroom design principles and the filtering systems employed to achieve the various standards of air cleanliness in the cleanrooms.

Sie haben noch keine Lizenz? Dann Informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft+Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 102.000 Bücher
  • über 537 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Nachhaltigkeit
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Maschinenbau + Werkstoffe
  • Versicherung + Risiko

Jetzt Wissensvorsprung sichern!

Jetzt informieren

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 67.000 Bücher
  • über 390 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Nachhaltigkeit
  • Maschinenbau + Werkstoffe




 

Jetzt Wissensvorsprung sichern!

Jetzt informieren

Springer Professional "Wirtschaft"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 67.000 Bücher
  • über 340 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Versicherung + Risiko




Jetzt Wissensvorsprung sichern!

Jetzt informieren
Vorheriges Kapitel EMI/RFI: Electromagnetic and Radio-Frequency Interference
Nächstes Kapitel Bio-containment
Fußnoten
5
High Efficiency Particulate Air filter, http://​en.​wikipedia.​org/​wiki/​HEPA
 
6
Ultra Low Particulate Air filter; http://​en.​wikipedia.​org/​wiki/​ULPA
 
Literatur
High Performance Cleanrooms, A Design Guidelines Sourcebook (Pacific Gas and Electric Company, CTM-0311-0875, January 2011)
C.K. Moorthy, Contamination Control and Cleanrooms (Anshan, Aldeburgh, 2004). ISBN 1-904798-06-3
C. Muller, Chapter 41: Airborne molecular contamination, in Semiconductor Manufacturing Handbook, ed. by H. Geng (McGraw Hill, New York, 2005). ISBN 0-07-144559-5
R.V. Pavlotsky, S.C. Beck, Chapter 38: Cleanroom design and construction, in Semiconductor Manufacturing Handbook, ed. by H. Geng (McGraw Hill, New York, 2005). ISBN 0-07-144559-5
M. Ramstorp, Introduction to Contamination Control and Cleanroom Technology (Wiley, Weinham, 2000). ISBN 3-527-30142-9CrossRef
W. Whyte, Cleanroom Technology: Fundamentals of Design, Testing and Operation (Wiley, Chichester, 2001). ISBN 0-471-86842-6CrossRef
Metadaten
Titel
Airborne Contamination
verfasst von
Ahmad Soueid
E. Clayton Teague
James Murday
Copyright-Jahr
2015
Buch
Buildings for Advanced Technology

Print ISBN: 978-3-319-24890-5

Electronic ISBN: 978-3-319-24892-9

Copyright-Jahr: 2015

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-319-24892-9_9