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Journal of Electronic Materials
Erschienen in: Journal of Electronic Materials 9/2009

Open Access 01.09.2009

Amorphization and Solid-Phase Epitaxial Growth of C-Cluster Ion-Implanted Si

verfasst von: N.G. Rudawski, L.R. Whidden, V. Craciun, K.S. Jones

Erschienen in: Journal of Electronic Materials | Ausgabe 9/2009

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Metadaten
Titel
Amorphization and Solid-Phase Epitaxial Growth of C-Cluster Ion-Implanted Si
verfasst von
N.G. Rudawski
L.R. Whidden
V. Craciun
K.S. Jones
Publikationsdatum
01.09.2009
Verlag
Springer US
Erschienen in
Journal of Electronic Materials / Ausgabe 9/2009
Print ISSN: 0361-5235
Elektronische ISSN: 1543-186X
DOI
https://doi.org/10.1007/s11664-009-0862-8

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