Analyse von Produktionssystemen für “reine” Anwendungen und Ableitung von Entwicklungsschwerpunkten

Bei den Produktionssystemen für “reine” Anwendungen wird die Produktionsumgebung in bezug auf die Reinheit maßgeblich durch die vor Ort eingesetzten Medien und die dafür notwendigen Versorgungssysteme bestimmt (Ertl 1990, Ohmi 1990, Rapa 1996). Notwendige Medien für die Prozesse sind einerseits die Reinraumluft, andererseits die “reinen” Prozeßgase und -flüssigkeiten, wobei die Reinstflüssigkeiten in Chemikalien und Reinstwasser unterteilt werden (Herz 1989, Ohmi 1990, Predmore 1997). Aufgabe der Versorgungssysteme ist es, die Medien mit den vom Produkt und dem jeweiligen Prozeß abhängigen Reinheitsanforderungen zur Verfügung zu stellen sowie die Kontinuität in der Versorgung zu gewährleisten. Bild 3.1 zeigt den Vergleich zwischen den eingesetzten Versorgungssystemen für die Medien Reinraumluft, Reinstgase und Reinstflüssigkeiten.