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1999 | OriginalPaper | Buchkapitel

Konzeption eines Integralen Reinheitssystems

verfasst von : Dr.-Ing. Jochen Schließer

Erschienen in: Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten

Verlag: Springer Berlin Heidelberg

Enthalten in: Professional Book Archive

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Aus der Analyse läßt sich ableiten, daß die existierenden “Reinen” Produktionssysteme und ihre Komponenten als Basis für die Konzeption eines “Integralen” Reinheitssystems herangezogen werden können. Die “Reinen” Produktionssysteme sind in Bild 4.1 den Auswahlkriterien, unterteilt in Muß- und Wunschanforderungen, gegenübergestellt und bewertet.

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Metadaten
Titel
Konzeption eines Integralen Reinheitssystems
verfasst von
Dr.-Ing. Jochen Schließer
Copyright-Jahr
1999
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Buch
Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten

Print ISBN: 978-3-540-65560-2

Electronic ISBN: 978-3-642-46882-7

Copyright-Jahr: 1999

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-642-46882-7_4

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