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Semiconductors
Erschienen in: Semiconductors 6/2011

01.06.2011 | Spectroscopy, Interaction with Radiation

Annealing-induced evolution of optical properties of the multilayered nanoperiodic SiO x /ZrO2 system containing Si nanoclusters

verfasst von: A. V. Ershov, D. I. Tetelbaum, I. A. Chugrov, A. I. Mashin, A. N. Mikhaylov, A. V. Nezhdanov, A. A. Ershov, I. A. Karabanova

Erschienen in: Semiconductors | Ausgabe 6/2011

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Metadaten
Titel
Annealing-induced evolution of optical properties of the multilayered nanoperiodic SiO x /ZrO2 system containing Si nanoclusters
verfasst von
A. V. Ershov
D. I. Tetelbaum
I. A. Chugrov
A. I. Mashin
A. N. Mikhaylov
A. V. Nezhdanov
A. A. Ershov
I. A. Karabanova
Publikationsdatum
01.06.2011
Verlag
SP MAIK Nauka/Interperiodica
Erschienen in
Semiconductors / Ausgabe 6/2011
Print ISSN: 1063-7826
Elektronische ISSN: 1090-6479
DOI
https://doi.org/10.1134/S1063782611060108

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