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Microsystem Technologies
Erschienen in: Microsystem Technologies 5/2010

01.05.2010 | Technical Paper

Design of self-assembling micromirror arrays for light guiding applications

verfasst von: Qingdang Li, Andreas Jäkel, Volker Viereck, Hartmut Hillmer

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 5/2010

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Abstract

We present the design and the potential of actuable micromirror arrays for light guiding applications on large areas. These micromirror arrays are intended to be implemented into the windows of buildings and to provide functionalities like daylight guiding into rooms, heat regulation, and glare protection. Placed between two panes of a window, these mirrors are maintenance-free and not subject to defilement. The use of micro system technology on large areas requires very low cost processes and materials, a concept with a minimum of process steps, as well as very easy and reliable process control. We present our design approaches and the corresponding technological results.
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Literatur
Kovacs GTA (2003) Micromachined transducers sourcebook. Science Press and McGraw-Hill Education (Asia) Co., Beijing
Li Q, Jäkel A, Viereck V, Schmid J, Hillmer H (2009) Design and fabrication of self-assembling micromirror arrays. Proc SPIE 7362:11.1–11.8
Liu H (1979) Material Mechanik. People’s Education Press, Beijing
Miles M (1999) MEMS-based interferometric modulator for display applications. Proc SPIE 3876:20–28CrossRef
Pizzi M, Koniachkine V, Nieri M et al (2003) Electrostatically driven film light modulators for display applications. Microsyst Technol 10:17–21CrossRef
Senturia D (2003) Microsystem design. Kluwer, Norwell
Timoshenko S, Woinowsky-Krieger S (1987) Theory of plates and shells, 2nd edn. McGraw-Hill Book Company, Inc, New York
Viereck V, Li Q, Ackermann J, Jäkel A, Bartels M, Schmid J, Hillmer H (2008) Nanophotonic mirror arrays for light steering. In: Proceedings of the eleventh Vietnamese–German seminar on physics and engineering, p 5
Waldis S, Zamkotsian F, Ayyalasomayajula P et al (2007) Micromirrors for multiobject spectroscopy. In: Proceedings of international IEEE conference on optical MEMs and nanophotonics, pp 87–88
Metadaten
Titel
Design of self-assembling micromirror arrays for light guiding applications
verfasst von
Qingdang Li
Andreas Jäkel
Volker Viereck
Hartmut Hillmer
Publikationsdatum
01.05.2010
Verlag
Springer-Verlag
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 5/2010
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-009-1001-4

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