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Journal of Electroceramics
Erschienen in: Journal of Electroceramics 1-4/2011

01.06.2011

Effects of rapid thermal annealing in different ambients on structural, electrical, and optical properties of ZnO thin films by sol-gel method

verfasst von: Jia Li, Jin-Hua Huang, Yu-Long Zhang, Ye Yang, Wei-Jie Song, Xiao-Min Li

Erschienen in: Journal of Electroceramics | Ausgabe 1-4/2011

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Abstract

We studied the effects of rapid thermal annealing in different ambients on the structural, electrical and optical properties of the sol-gel derived ZnO thin films. All the films after annealing showed highly degree of (002) oriented in the X-ray diffractometry (XRD) patterns. The effects of annealing ambients on electrical properties of the films were studied. Carrier concentration, resistivity and mobility were found to be distinguished after annealed in different ambients. The sample with the lowest resistivity of 0.095 Ω·cm and the largest mobility of 105.1 cm2/v·s was achieved after annealing in vacuum. XPS results indicated that more oxygen vacancies existed on the ZnO surface when annealed in vacuum than that in O2.
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Metadaten
Titel
Effects of rapid thermal annealing in different ambients on structural, electrical, and optical properties of ZnO thin films by sol-gel method
verfasst von
Jia Li
Jin-Hua Huang
Yu-Long Zhang
Ye Yang
Wei-Jie Song
Xiao-Min Li
Publikationsdatum
01.06.2011
Verlag
Springer US
Erschienen in
Journal of Electroceramics / Ausgabe 1-4/2011
Print ISSN: 1385-3449
Elektronische ISSN: 1573-8663
DOI
https://doi.org/10.1007/s10832-011-9632-0

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