Skip to main content
Fachgebiete
Automobil + Motoren Bauwesen + Immobilien Business IT + Informatik Elektrotechnik + Elektronik Energie + Nachhaltigkeit Finance + Banking Management + Führung Marketing + Vertrieb Maschinenbau + Werkstoffe Versicherung + Risiko
DE
EN
Themenseiten
Organisationspsychologie Projektmanagement Marketing Smart Manufacturing
Bücher
Zeitschriften
Weitere Formate
Podcasts Webinare Technik Webinare Wirtschaft Kongresse Veranstaltungskalender Awards
Jetzt Einzelzugang starten
Zugang für Unternehmen
Referenzkunden
MTZ-Fachkongress

Antriebe und Energiesysteme von morgen


Austausch von Automobil- und Energiewirtschaft

Am 14./15. Mai geht es in Chemnitz um die Mobilitätswende durch Elektro- und Wasserstofffahrzeuge.
Erweiterte Suche
Anmelden
nach oben
Erschienen in:
Die Gesamtverantwortung des Managements bei Komplexen Veränderungsprozessen Durch Mikroelektronikeinsatz Kapitel lesen Erstes Kapitel lesen

1985 | OriginalPaper | Buchkapitel

Elektronenstrahl-Istpositionsgeber

verfasst von : E. Benes, M. Gröschl, K. Lübke, N. Gurker, F. W. Thomas, G. Thorn, H. Ranke

Erschienen in: Mikroelektronik in Österreich

Verlag: Springer Vienna

Enthalten in: Professional Book Archive

Zugang erhalten

Aktivieren Sie unsere intelligente Suche, um passende Fachinhalte oder Patente zu finden.

search-config
loading …

Es wird über ein neuartiges Sensorprinzip zur Detektion der Auftreffstelle eines Elektronenstrahls (insbesondere im Hinblick auf die Strahlpositionsregelung in Elektronenstrahl-Verdampferquellen) berichtet, bei dem die der Aufpralldichte des Elektronenstrahls proportionale Röntgenstrahlung nach dem Lochkameraprinzip auf einen positionsempfindlichen Detektor (PSD) abgebildet wird. Als PSD werden hier Si- und GaAs-Lateraldioden verwendet, wobei deren direkte Röntgenempfindlichkeit ausgenützt wird.

Vorheriges Kapitel Fotodiodenarrays Als Sensoren in der Partikelelektrophorese
Nächstes Kapitel Die Nutzung des Faradayeffektes zur Strommessung in Hochspannungsanlagen
Metadaten
Titel
Elektronenstrahl-Istpositionsgeber
verfasst von
E. Benes
M. Gröschl
K. Lübke
N. Gurker
F. W. Thomas
G. Thorn
H. Ranke
Copyright-Jahr
1985
Verlag
Springer Vienna
Buch
Mikroelektronik in Österreich

Print ISBN: 978-3-211-81893-0

Electronic ISBN: 978-3-7091-8821-7

Copyright-Jahr: 1985

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-7091-8821-7_46

Neuer Inhalt

    Bildnachweise