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Measurement Techniques
Erschienen in: Measurement Techniques 8/2016

15.11.2016 | NANOMETROLOGY

Experimental Study of Three-Dimensional Reconstruction of Relief Structures from Stereo Images Obtained in a Scanning Electron Microscope

verfasst von: A. Yu. Kuzin, A. L. Vasil’ev, D. A. Karabanov, V. B. Mityukhlyaev, A. A. Mikhutkin, M. Yu. Presnyakov, P. A. Todua, M. N. Filippov

Erschienen in: Measurement Techniques | Ausgabe 8/2016

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Abstract

We present research results of three-dimensional surface reconstruction from stereo images of silicon structures with trapezoidal profile of the relief elements. The stereo images were obtained from a scanning electron microscope. We compared results from transmission scanning electron and atomic force microscopy. It was found that the formation of an insular film of gold on the surface of the test object can increase the accuracy of the results of the three-dimensional reconstruction. Reconstruction error for a protrusion height of 597–600 nm was less than 4%.
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Literatur
1.
J. Goldstein, D. Newbury, and D. Joy, Scanning Electron Microscopy and x-Ray Microanalysis, Kluwer Academic, Plenum Publishers, New York (2003).
2.
A. A. Mikhutkina and A. L. Vasiliev, “Three-dimensional surface reconstruction from images obtained in a scanning electron microscope,” Crystallography, 59, No. 6, 999–1007 (2014).
3.
F. Marinello, P. Bariani, E. Savio, et al., “Critical factors in SEM 3D stereo microscopy,” Meas. Sci. Technol., 19, No. 6, 065705-1–065705-12 (2008).
4.
V. P. Gavrilenko, D. A. Karabanov, A. Yu. Kuzin, et al., “Three-dimensional reconstruction of surface relief structures from stereo images obtained in a scanning electron microscope,” Izmer. Tekhn., No. 3, 15–18 (2015).
5.
V. P. Gavrilenko, V. B. Mityukhlyaev, Yu. A. Novikov, et al., “Test object of the linewidth with a trapezoidal profile and three certified sizes for an SEM and AFM,” Meas. Sci. Technol., 20, 084022 (2009).ADSCrossRef
6.
Yu. Kuzin, V. B. Mityuhlyaev, V. B. Mikhutkina, et al., “Analysis of factors affecting the accuracy of three-dimensional surface reconstruction of objects with submicrometer relief from scanning electron microscope stereo images,” Izmer. Tekhn., No. 3, 20–23 (2016).
Metadaten
Titel
Experimental Study of Three-Dimensional Reconstruction of Relief Structures from Stereo Images Obtained in a Scanning Electron Microscope
verfasst von
A. Yu. Kuzin
A. L. Vasil’ev
D. A. Karabanov
V. B. Mityukhlyaev
A. A. Mikhutkin
M. Yu. Presnyakov
P. A. Todua
M. N. Filippov
Publikationsdatum
15.11.2016
Verlag
Springer US
Erschienen in
Measurement Techniques / Ausgabe 8/2016
Print ISSN: 0543-1972
Elektronische ISSN: 1573-8906
DOI
https://doi.org/10.1007/s11018-016-1050-x

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