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Journal of Electroceramics
Erschienen in: Journal of Electroceramics 4/2007

01.12.2007

Extensive electromechanical characterization of PZT thin films for MEMS applications by electrical and mechanical excitation signals

verfasst von: Klaus Prume, Paul Muralt, Florian Calame, Thorsten Schmitz-Kempen, Stephan Tiedke

Erschienen in: Journal of Electroceramics | Ausgabe 4/2007

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Metadaten
Titel
Extensive electromechanical characterization of PZT thin films for MEMS applications by electrical and mechanical excitation signals
verfasst von
Klaus Prume
Paul Muralt
Florian Calame
Thorsten Schmitz-Kempen
Stephan Tiedke
Publikationsdatum
01.12.2007
Verlag
Springer US
Erschienen in
Journal of Electroceramics / Ausgabe 4/2007
Print ISSN: 1385-3449
Elektronische ISSN: 1573-8663
DOI
https://doi.org/10.1007/s10832-007-9065-y

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