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Microsystem Technologies
Erschienen in: Microsystem Technologies 5/2000

01.08.2000

High aspect ratio micromachining (HARM) technologies for microinertial devices

verfasst von: M. McNie, D. King, C. Vizard, A. Holmes, K. W. Lee

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 5/2000

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Metadaten
Titel
High aspect ratio micromachining (HARM) technologies for microinertial devices
verfasst von
M. McNie
D. King
C. Vizard
A. Holmes
K. W. Lee
Publikationsdatum
01.08.2000
Verlag
Springer-Verlag
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 5/2000
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s005420000044

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