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Erschienen in: The International Journal of Advanced Manufacturing Technology 12/2000

01.10.2000

Influence of the Redeposition effect for Focused Ion Beam 3D Micromachining in Silicon

verfasst von: Y.Q. Fu, N.K.A. Bryan, O.N. Shing, N.P. Hung

Erschienen in: The International Journal of Advanced Manufacturing Technology | Ausgabe 12/2000

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Metadaten
Titel
Influence of the Redeposition effect for Focused Ion Beam 3D Micromachining in Silicon
verfasst von
Y.Q. Fu
N.K.A. Bryan
O.N. Shing
N.P. Hung
Publikationsdatum
01.10.2000
Verlag
Springer-Verlag London Limited
Erschienen in
The International Journal of Advanced Manufacturing Technology / Ausgabe 12/2000
Print ISSN: 0268-3768
Elektronische ISSN: 1433-3015
DOI
https://doi.org/10.1007/s001700070005

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