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Semiconductors
Erschienen in: Semiconductors 7/2015

01.07.2015 | Semiconductor Structures, Low-Dimensional Systems, and Quantum Phenomena

Investigations of nanodimensional Al2O3 films deposited by ion-plasma sputtering onto porous silicon

verfasst von: P. V. Seredin, A. S. Lenshin, D. L. Goloshchapov, A. N. Lukin, I. N. Arsentyev, A. D. Bondarev, I. S. Tarasov

Erschienen in: Semiconductors | Ausgabe 7/2015

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Metadaten
Titel
Investigations of nanodimensional Al2O3 films deposited by ion-plasma sputtering onto porous silicon
verfasst von
P. V. Seredin
A. S. Lenshin
D. L. Goloshchapov
A. N. Lukin
I. N. Arsentyev
A. D. Bondarev
I. S. Tarasov
Publikationsdatum
01.07.2015
Verlag
Nauka/Interperiodica
Erschienen in
Semiconductors / Ausgabe 7/2015
Print ISSN: 1063-7826
Elektronische ISSN: 1090-6479
DOI
https://doi.org/10.1134/S1063782615070210

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