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Erschienen in:
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2014 | OriginalPaper | Buchkapitel

7. Laser-Induced Local Oxidation of Thin Metal Films: Physical Fundamentals and Applications

verfasst von : Vadim P. Veiko, Alexander G. Poleshchuk

Erschienen in: Fundamentals of Laser-Assisted Micro- and Nanotechnologies

Verlag: Springer International Publishing

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Abstract

Local laser oxidation of thin metal films allows recording of an optical image on thin films with the highest resolution and high productivity at the same time, and without distortions specific to laser ablation. A technique for writing of diffractive optical elements was developed on the basis of this process. Laser-matter interaction physics and laser technology underlying this method are described in this chapter.

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Fußnoten
1
The reader can now carry out this experiment independently; we repeated it 40 years later (1968–2008) and obtained the same result; however, this time a micrograph was taken with a high-magnification microscope (see Fig. 7.1).
 
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J. Benard, Oxydation des Metaux (Villars, Paris, 1964)
Metadaten
Titel
Laser-Induced Local Oxidation of Thin Metal Films: Physical Fundamentals and Applications
verfasst von
Vadim P. Veiko
Alexander G. Poleshchuk
Copyright-Jahr
2014
Buch
Fundamentals of Laser-Assisted Micro- and Nanotechnologies

Print ISBN: 978-3-319-05986-0

Electronic ISBN: 978-3-319-05987-7

Copyright-Jahr: 2014

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-319-05987-7_7

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