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Experimental Mechanics
Erschienen in: Experimental Mechanics 8/2012

01.10.2012

Fabrication Process Comparison and Dynamics Evaluation of Electrothermal Actuators for a Prototype MEMS Safe and Arming Devices

verfasst von: S. A. Ostrow II, R. A. Lake, J. P. Lombardi III, R. A. Coutu Jr., L. A. Starman

Erschienen in: Experimental Mechanics | Ausgabe 8/2012

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Abstract

Electrothermal actuators fabricated using the Polysilicon Multi-User MEMS Process (PolyMUMPs) and the Sandia Ultra-Planar, Multi-Level MEMS Technology 5 (SUMMiT V) have been investigated for use in integrated microelectromechanical systems (MEMS) safe and arming devices. The fabricated electrothermal actuators have been dynamically tested to determine and compare the responses of devices from both processes. Furthermore, the integration of these devices into a safe and arming device were tested and investigated for each process. Initial results indicate that the SUMMiT devices provide the most optimum results based on consistency of operation and reliability.
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Literatur
1.
Liu C (2005) Foundations of MEMS. Prentice Hall, Upper Saddle River, New Jersey
2.
Kovacs GTA (1998) Micromachined transducers sourcebook. The McGraw Hill Company, Boston
3.
Comtois JH, Bright VB (1997) Applications for surface-micromachined polysilicon thermal actuators and arrays. Sensor Actuator A 58:19–25CrossRef
4.
Yan D, Khajepour A, Mansour R (2004) Design and modeling of a MEMS bidirectional vertical thermal actuator. IOP, J Micromech Microeng 14:841–850CrossRef
5.
Comtois JH, Michalicek MA, Barron CC (1998) Electrothermal actuators fabricated in four-level planarized surface micromachined polycrystalline silicon. Sensor Actuator A 70:23–31CrossRef
6.
Kolesar E et al (2002) Single- and double-hot-arm asymmetrical polysilicon micromachined electrothermal actuators applied to realize a microengine. Thin Solid Films 420–421:530–538CrossRef
7.
Kolesar E et al (2000) In-plane tip deflection and force achieved with asymmetrical polysilicon electrothermal microactuators. Thin Solid Films 377–378:719–726CrossRef
8.
Kolesar E et al (2004) Design and performance of an electrothermal MEMS microengine capable of bi-directional motion. Thin Solid Films 447–448:481–488CrossRef
9.
Grigg D et al (2004) Static and dynamic characterization of MEMS and MOEMS devices using optical interference microscopy. Proc SPIE 5455–55:1–7
10.
Lake RA, Starman LA, Coutu RA Jr (2010) “Electrothermal actuators for integrated MEMS safe and arming devices,” Proceedings of the Society for Experimental Mechanics, MEMS and Nanotechnology Conference 2:215–222
11.
Yan D, Khajepour A, Mansour R (2003) Modeling of two-hot-arm horizontal thermal actuator. IOP, J Micromech Microeng 13:312–322CrossRef
12.
Carter J, Cowen A, Hardy B, Mahadevan R, Stonefield M, Wilcenski S. PolyMUMPs design handbook revision 11.0.
13.
Sandia National Laboratories, SUMMiT V – Five Level Surface Micromachining Technology Design Manual, April 2008.
14.
15.
Cho SW, Chasiotis I (2007) Elastic properties and representative volume element of polycrystalline silicon for MEMS. J Exp Mech 47:37–49CrossRef
16.
Starman LA, Coutu RA Jr (2009) “Residual stress monitoring of post-processed MEMS fixed-fixed beams,” Proceedings of the Society for Experimental Mechanics, MEMS and Nanotechnology Conference 2:769–778
17.
MIL-STD-1316E, “Safety Criteria for Fuze Design.” Department of Defense Design Criteria Standard, Jul 1998.
Metadaten
Titel
Fabrication Process Comparison and Dynamics Evaluation of Electrothermal Actuators for a Prototype MEMS Safe and Arming Devices
verfasst von
S. A. Ostrow II
R. A. Lake
J. P. Lombardi III
R. A. Coutu Jr.
L. A. Starman
Publikationsdatum
01.10.2012
Verlag
Springer US
Erschienen in
Experimental Mechanics / Ausgabe 8/2012
Print ISSN: 0014-4851
Elektronische ISSN: 1741-2765
DOI
https://doi.org/10.1007/s11340-011-9579-8

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