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Erschienen in:
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2014 | OriginalPaper | Buchkapitel

4. Optical Breakdown in Ambient Gas and Its Role in Material Processing by Short-Pulsed Lasers

verfasst von : Sergey M. Klimentov, Vitaly I. Konov

Erschienen in: Fundamentals of Laser-Assisted Micro- and Nanotechnologies

Verlag: Springer International Publishing

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Abstract

Formation of gas breakdown plasma, staying apart from the surface of materials exposed to pulsed laser radiation, is shown to have a strong impact to productivity and accuracy of micromachining. Origin and effect of two types of such plasmas are described: one is induced by low threshold breakdown of ambient gas contaminated by charged ablated nanoparticles; which is characteristic of nano- and subnanosecond lased ablation; the second is caused by ionization of gas at the leading edge of focused pico- and femtosecond pulses. The ways to eliminate undesirable plasma effects are discussed and demonstrated.

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Metadaten
Titel
Optical Breakdown in Ambient Gas and Its Role in Material Processing by Short-Pulsed Lasers
verfasst von
Sergey M. Klimentov
Vitaly I. Konov
Copyright-Jahr
2014
Buch
Fundamentals of Laser-Assisted Micro- and Nanotechnologies

Print ISBN: 978-3-319-05986-0

Electronic ISBN: 978-3-319-05987-7

Copyright-Jahr: 2014

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-319-05987-7_4

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