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Microsystem Technologies
Erschienen in: Microsystem Technologies 5/2000

01.08.2000

Dimensional measurement of high aspect ratio micro structures with a resonating micro cantilever probe

verfasst von: M. Yamamoto, H. Takeuchi, S. Aoki

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 5/2000

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Metadaten
Titel
Dimensional measurement of high aspect ratio micro structures with a resonating micro cantilever probe
verfasst von
M. Yamamoto
H. Takeuchi
S. Aoki
Publikationsdatum
01.08.2000
Verlag
Springer-Verlag
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 5/2000
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s005429900037

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