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Microsystem Technologies

Erschienen in:

01.04.2005

Micro wire EDM for high aspect ratio 3D microstructuring of ceramics and metals

verfasst von: A. Schoth, R. Förster, W. Menz

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 4-5/2005

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Titel: Micro wire EDM for high aspect ratio 3D microstructuring of ceramics and metals
verfasst von: A. Schoth
R. Förster
W. Menz
Publikationsdatum: 01.04.2005
Verlag: Springer-Verlag
Erschienen in: Microsystem Technologies / Ausgabe 4-5/2005
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI: https://doi.org/10.1007/s00542-004-0399-y