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2013 | OriginalPaper | Buchkapitel

6. Microanalysis with HIM

verfasst von : David C. Joy

Erschienen in: Helium Ion Microscopy

Verlag: Springer New York

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Abstract

For many users, the most important application of an SEM is its ability to identify the chemical composition of a specimen. Energy dispersive spectroscopy (EDS) of the X-rays fluoresced from samples of interest by the incident electron beam provides chemical microanalysis combining unparalleled sensitivity together with high spatial resolution for elements across the entire periodic table. This technique would therefore also be the automatic first choice for microanalysis when using ion beams if it were a viable option.

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Metadaten
Titel
Microanalysis with HIM
verfasst von
David C. Joy
Copyright-Jahr
2013
Verlag
Springer New York
DOI
https://doi.org/10.1007/978-1-4614-8660-2_6

    Marktübersichten

    Die im Laufe eines Jahres in der „adhäsion“ veröffentlichten Marktübersichten helfen Anwendern verschiedenster Branchen, sich einen gezielten Überblick über Lieferantenangebote zu verschaffen.