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Microsystem Technologies
Erschienen in: Microsystem Technologies 6-7/2003

01.09.2003

Micromachining of highly reproducible step substrates for high Tc step junction dc-SQUIDs

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 6-7/2003

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Metadaten
Titel
Micromachining of highly reproducible step substrates for high Tc step junction dc-SQUIDs
Publikationsdatum
01.09.2003
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 6-7/2003
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-002-0278-3

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