Molekularpumpen

Drücke unterhalb Atmosphärendruck im Bereich der laminaren oder turbulenten Gasströmung werden mit Vakuumpumpen erzeugt, die im wesentlichen nach dem Verdrängungsprinzip arbeiten (Kapitel 5). In Druckbereichen p < 10•3 mbar sind diese Pumpen in der Regel nicht oder nur begrenzt anwendbar. Die hier verwendeten Pumpen arbeiten entweder nach dem Prinzip der Gassorption (Kapitel 8) oder nach dem Prinzip der Impulsübertragung mit Hilfe eines dampfförmigen Treibmittels (Treibmittelpumpen, Kapitel 6), wobei die Gasteilchen beim Abpumpen eine Vorzugsrichtung erhalten. Beide Pumpenarten haben in der Praxis vielseitige Verwendung gefunden: Sorptionspumpen erzeugen ein extrem sauberes Vakuum (s. z.B. Abschnitt 15.5), haben aber ihrer Wirkungsweise entsprechend nur ein begrenztes Gasaufnahmevermögen; Treibmittelpumpen zeigen keine derartige Begrenzung, können für praktisch beliebig hohe Saugvermögen gebaut werden, haben aber eine merkliche, vielfach störende Treibmittelrückströmung, die allerdings durch geeignete Dampfsperren (Baffle) (Abschnitt 6.4.3) erheblich — allerdings auf Kosten des Saugvermögens — herabgesetzt werden kann.