Sorptionspumpen

Unter Sorptionspumpen versteht man Anordnungen, bei denen an geeigneten Oberflächen auftreffende Gasteilchen durch Sorption (vgl. Kapitel 3) gebunden werden. Dadurch wird der Gasdruck im Behälter vermindert. Sorptionspumpen wirken also als Gasfalle, ohne daß das Gas wie bei einer eigentlichen „Pumpe“ durch die Pumpe gefördert wird. Sorptionspumpen finden vor allem dann Anwendung, wenn es darauf ankommt, jede Verunreinigung des Vakuums durch Fremdstoffe wie Treib-, Schmier- oder Dichtmitteldämpfe auszuschließen. Man setzt Sorptionspumpen im ganzen Vakuumdruckbereich ein, um kohlenwasserstofffreies Vakuum zu erzeugen, vor allem aber in der UHV-Technik. Nach ISO 3529/II [1] unterscheidet man (Tabelle 8.1) Adsorptionspumpen (8.1), Getterpumpen1) (8.2.5), Verdampferpumpen (8.2.5.2) und Ionengetterpumpen (8.2.6), bei denen wieder zwischen Ionenverdampferpumpen (8.2.6.1) und Ionenzerstäuberpumpen (8.3) unterschieden wird. Über Kryosorptionspumpen siehe Abschnitt 10.6.1.2.