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The International Journal of Advanced Manufacturing Technology
Erschienen in: The International Journal of Advanced Manufacturing Technology 1-4/2014

01.04.2014 | ORIGINAL ARTICLE

Multilayer deposition of ceramic and metal at room temperature using nanoparticle deposition system (NPDS) and planarization process

verfasst von: Doo-Man Chun, Chung-Soo Kim, Jung-Oh Choi, Gil-Yong Lee, Caroline Sunyong Lee, Sung-Hoon Ahn

Erschienen in: The International Journal of Advanced Manufacturing Technology | Ausgabe 1-4/2014

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Metadaten
Titel
Multilayer deposition of ceramic and metal at room temperature using nanoparticle deposition system (NPDS) and planarization process
verfasst von
Doo-Man Chun
Chung-Soo Kim
Jung-Oh Choi
Gil-Yong Lee
Caroline Sunyong Lee
Sung-Hoon Ahn
Publikationsdatum
01.04.2014
Verlag
Springer London
Erschienen in
The International Journal of Advanced Manufacturing Technology / Ausgabe 1-4/2014
Print ISSN: 0268-3768
Elektronische ISSN: 1433-3015
DOI
https://doi.org/10.1007/s00170-013-5327-9

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