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Science China Technological Sciences
Erschienen in: Science China Technological Sciences 2/2004

01.03.2004

Nonselective etching of GaN/AlGaN heterostructures by Cl2/Ar/BCl3 inductively coupled plasmas

verfasst von: Yanjun Han, Song Xue, Tong Wu, Zhen Wu, Wenping Guo, Yi Luo, Zhibiao Hao, Changzheng Sun

Erschienen in: Science China Technological Sciences | Ausgabe 2/2004

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Metadaten
Titel
Nonselective etching of GaN/AlGaN heterostructures by Cl2/Ar/BCl3 inductively coupled plasmas
verfasst von
Yanjun Han
Song Xue
Tong Wu
Zhen Wu
Wenping Guo
Yi Luo
Zhibiao Hao
Changzheng Sun
Publikationsdatum
01.03.2004
Verlag
Science in China Press
Erschienen in
Science China Technological Sciences / Ausgabe 2/2004
Print ISSN: 1674-7321
Elektronische ISSN: 1869-1900
DOI
https://doi.org/10.1360/03ye0256

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