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Microsystem Technologies
Erschienen in: Microsystem Technologies 12/2014

01.12.2014 | Technical Paper

Novel piezoelectric actuator control slider using transverse-mode deformation

verfasst von: Shengnan Shen, Hui Li, Hejun Du, Bo Liu

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 12/2014

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Abstract

This work proposes a novel structure design of active slider with a piezoelectric actuator at the top of the slider body and a soft layer between the substrate and head elements, to efficiently control the flying height of slider. A parametric simulation was performed to obtain an optimize dimension of PZT actuator and the most efficient soft material. Then three types of slider structures were designed and investigated with considering air bearing effects to achieve large actuation efficiency.
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Literatur
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Metadaten
Titel
Novel piezoelectric actuator control slider using transverse-mode deformation
verfasst von
Shengnan Shen
Hui Li
Hejun Du
Bo Liu
Publikationsdatum
01.12.2014
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 12/2014
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-014-2217-5

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