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Erschienen in:
Systeme und Konzepte der Reinraumtechnik Kapitel lesen Erstes Kapitel lesen

2018 | OriginalPaper | Buchkapitel

2. Physikalische Grundlagen gasgetragener partikulärer Kontaminationen

verfasst von : Heinz Fißan, Andreas Trampe, Christof Asbach

Erschienen in: Reinraumtechnik

Verlag: Springer Berlin Heidelberg

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Zusammenfassung

Viele der heutigen Produkte sind während ihrer Herstellung sehr empfindlich gegenüber Schad- bzw. Fremdstoffen in ihrer Umgebung. Diese Empfindlichkeit war und ist der Auslöser für die Entwicklung und die stetige Weiterentwicklung der sogenannten Reinen Technologien. Die Zielsetzung der Reinen Technologien ist es, die Schad- bzw. Fremdstoffe in der Reichweite der Produkte auf einen vorgegebenen Grenzwert zu reduzieren. Um diese Zielsetzung zu erreichen, sind die einzelnen Stoffströme sowohl im Reinraum als auch in den entsprechenden geschlossenen Prozesssystemen zu betrachten.

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Metadaten
Titel
Physikalische Grundlagen gasgetragener partikulärer Kontaminationen
verfasst von
Heinz Fißan
Andreas Trampe
Christof Asbach
Copyright-Jahr
2018
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Buch
Reinraumtechnik

Print ISBN: 978-3-662-54914-8

Electronic ISBN: 978-3-662-54915-5

Copyright-Jahr: 2018

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-662-54915-5_2

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